首页时事民生政务教育文化科技财富体娱健康情感

旅行百科职场楼市企业乐活学术汽车时尚创业美食幽默美体文摘

为什么需要电镀工艺？

文摘 2024-07-05 23:59 湖北

若您对半导体/光器件/光模块/光纤通信等感兴趣

欢迎关注我们！

在《为什么需要Cu/Low-k工艺？》一文中，Cu/Low-k工艺涉及到电镀技术的应用。

那什么是电镀，为什么要电镀？

简单来说，电镀工艺是在金属表面覆盖一层金属薄膜的技术。这类似于我们在中学化学课上进行的实验，不知道大家是否还有印象。

在这个实验中，金属钥匙和一块纯铜棒都连接到电源。将它们同时浸入导电液体中，形成闭合电路，但不直接接触。随着电流的通过，铜离子从铜棒溶解出来，并逐渐沉积在钥匙表面，最终形成一层均匀的铜膜。

在半导体制造领域，电镀技术也遵循着与上面实验中相同的电化学原理。在这一过程中，硅晶圆作为基底，与铜源一同置于含有硫酸铜和硫酸的电镀槽中。电流的引入激活了铜离子向硅晶圆表面的沉积，电流的强度精确调控着沉积铜的量，因为它为铜离子的还原提供了电子。

电镀槽中的环境条件，如溶液的温度、流动速率以及化学成分，共同决定了铜层的沉积质量和特性。

尽管原理简单，但只有在精确的工业控制下，才能实现300毫米晶圆上均匀的电镀。在此过程中，我们需要让硅晶圆持续旋转，以防止镀液中产生气泡，并使电镀层更加均匀。

另外，由于铜难以在某些阻挡层材料上直接成核，我们通常先使用物理气相沉积技术在阻挡层上沉积一层极薄的铜种子层。这层种子层提供了一个导电的表面，然后使用电镀工艺使铜离子能够在其上还原。

这样，不仅可以在通孔中形成铜层，还可以通过CMP（化学机械抛光）工艺去除多余的铜膜，同时在通孔中形成铜种子层。有关CMP工艺的必要性，可以参考《为什么需要CMP工艺？》一文。

然而，要完全填满深且窄的互连沟槽并非易事。如果工艺控制不够精细，就可能形成空洞或裂缝，也可能开成悬挂Overhang等形状。

电镀技术在晶圆级封装（这就是晶圆级封装？）应用中发挥着比较重要的作用，比如制造导电的凸点、支柱、重新布局的线路层，以及填充贯穿硅芯片的垂直通道（TSV）。

今天讨论的电镀工艺，虽然与后端互连（BEOL）中使用的铜填充技术有相似之处，但在WLP和TSV中电镀的规模要大得多，意味着即使电镀速度很快，也需要更长的时间来完成金属层的沉积。

感谢阅读！

请您加入我们的社群，当前价格最优惠！

若您对半导体/光器件/光模块/光纤通信等感兴趣

欢迎关注我们！

Optical Fiber Communication

芯片、光器件与模块、半导体等知识领域的科普与探讨！

最新文章

为何选择硅作为栅极或衬底材料？

芯片为什么要进行封装？

芯片中的 CP 测试是怎样的？

双包层光纤是什么？

离子注入为什么需要7°角？

常见的元器件封装有哪些？

【收藏】半导体术语大全

什么是掺杂？n 和 p 半导体

中国半导体行业协会声明：谨慎采购！

2024 ~ 2028年硅光子学市场预测！

HBM2及更高级别芯片或将面临管制？

又来 ! 新制裁的具体内容和例外

等离子体刻蚀!

有什么方法可以代替法拉第隔离器吗？

光学谐振腔模式知多少？

是什么决定了自发辐射噪声的强度？

6 家半导体公司上榜 2024 福布斯中国创新力企业 50 强！

沟道宽度对集成电路性能有什么影响？

AI 带来的光模块变化与机会有哪些？

光刻胶的涂覆工艺到底是怎样的流程？

峰值功率越小，非线性效应越弱吗？

2D材料的制造成本：能否与硅一较高下？

正胶和负胶的对比！

正胶和负胶的对比！

半导体厂房的洁净度，你真的清楚吗？

芯片设计有哪些方向和岗位？

什么是可调谐激光器，有哪些方法可调谐？

铜缆与光器件的较量：448G-PAM6 与 448G-PAM4 的适用性?

芯片制造中有哪些衬底材料？

大模场面积就一定好吗？

光刻中这些效应和概念，你都知道吗？

芯片的切割道中不添加 dummy 会怎么样？

Arm 与 X86 之争要以这种方式结束？

原子中的能级是怎么一回事？

3.5D 封装，会尴尬吗？

CPO 与 OCI 以及 4Tbps 光学小芯片！

单晶硅，到底是怎样制造出来的？

博通在 “Hot Chips 2024” 又展示了啥？

LOCOS 技术是什么，有什么不足？

裁员 18000 多人，电信部门孤立无援！

解读 Marvell 公司最新的 1.6T 芯片！

几 P 几 M 以及光罩层数代表什么意义？

全球裁员 1400 人！

硅光调制器中的载流子效应有什么用？

Ciena：800G及更高速率相干可插拔光模块

什么是缺口效应Notching Effect，如何抑制？

硅光波导，如何在接收端保证光的偏振性？

为什么需要电镀工艺？

光纤的弯曲应力是什么？

为什么在硅光波导中，TE模要比TM模更受欢迎？

分类

原创标签

时事社会财经军事教育体育科技汽车科学房产搞笑综艺明星音乐动漫游戏时尚健康旅游美食生活摄影宠物职场育儿情感小说曲艺文化历史三农文学娱乐电影视频图片新闻宗教电视剧纪录片广告创意壁纸头像心灵鸡汤星座命理教育培训艺术文化金融财经健康医疗美妆时尚餐饮美食母婴育儿社会新闻工业农业时事政治星座占卜幽默笑话独立短篇连载作品文化历史科技互联网

发布位置

广东北京山东江苏河南浙江山西福建河北上海四川陕西湖南安徽湖北内蒙古江西云南广西甘肃辽宁黑龙江贵州新疆重庆吉林天津海南青海宁夏西藏香港澳门台湾美国加拿大澳大利亚日本新加坡英国西班牙新西兰韩国泰国法国德国意大利缅甸菲律宾马来西亚越南荷兰柬埔寨俄罗斯巴西智利卢森堡芬兰瑞典比利时瑞士土耳其斐济挪威朝鲜尼日利亚阿根廷匈牙利爱尔兰印度老挝葡萄牙乌克兰印度尼西亚哈萨克斯坦塔吉克斯坦希腊南非蒙古奥地利肯尼亚加纳丹麦津巴布韦埃及坦桑尼亚捷克阿联酋安哥拉