首页时事民生政务教育文化科技财富体娱健康情感

旅行百科职场楼市企业乐活学术汽车时尚创业美食幽默美体文摘

离子注入为什么需要7°角？

文摘 2024-12-12 11:27 湖北

若您对半导体/光器件/光模块/光纤通信等感兴趣

欢迎关注我们！

回答这个问题，首先我们要了解一个概念：隧道效应。

隧道效应，又称沟道效应，对晶圆进行离子注入时，当注入离子的方向与晶圆的某个晶向平行时，其运动轨迹将不再是无规则的碰撞，而是将沿沟道（原子之间的缝隙）运动并且很少受到原子核的碰撞，因此来自注入的离子的阻力作用要小得多，注入离子的能量损失率很低。

在其他条件相同的情况下，很难控制注入离子的浓度分布，注入深度比正常注入更深，并使注入离子的分布产生一个很长的拖尾，注入纵向分布峰值不符合高斯分布，这种现象类似于注入离子穿越晶体隧道，因此叫隧道效应。

图离子注入的隧道效应和倾角注入抑制隧道效应

从隧道效应的解释来看，这不是一个好的效应。也有人会提出，为什么不利用沟道效应做深结注入？主要有2个原因，第一是离子入射方向不可能完美与晶圆的晶向平行，第二是产生隧道效应的离子数量较少且不受控制，无法定量产生一个深结注入。

图隧道效应和符合高斯分布的离子注入离子浓度与深度曲线

了解了隧道效应，我们就很容易理解为什么离子注入要倾角。因为注入方向和晶圆有一定倾角后，注入离子与晶圆内部的原子碰撞概率提高，而抑制了隧道效应的产生。那为什么一定是7°倾角呢？倾角过大，如果带胶注入时，离子被光刻胶部分遮挡，形成较大的阴影区，造成实际注入区域与设计区域有一定的偏差。如果倾角过小，不能很好解决隧道效应，还易造成双峰分布。所以，结合理论和经验，实际工艺过程中会选择7°角作为离子注入入射角度。

图注入角度过大造成的阴影区

那么除了7°角，还有哪些方法可以抑制沟道效应呢？

实际工艺过程中，还会在注入之前，在硅表面热氧化一层10-20nm的氧化硅薄层，因为氧化硅晶格结构与硅不同，在进入硅内部之前打乱离子注入的方向，增加随机性。这是最常用的办法，因为表面的氧化硅容易去除。还有一种同理的方法，是硅表面非晶化，采用定向能量离子束轰击硅表面，使单晶硅预非晶化，破坏硅片表面晶体结构。

邀请您加入我们的星球，获取大量半导体领域的Ebook、技术文档、趋势研报！

若您对半导体/光器件/光模块/光纤通信等感兴趣

欢迎关注我们！

Optical Fiber Communication

芯片、光器件与模块、半导体等知识领域的科普与探讨！

最新文章

为何选择硅作为栅极或衬底材料？

芯片为什么要进行封装？

芯片中的 CP 测试是怎样的？

双包层光纤是什么？

离子注入为什么需要7°角？

常见的元器件封装有哪些？

【收藏】半导体术语大全

什么是掺杂？n 和 p 半导体

中国半导体行业协会声明：谨慎采购！

2024 ~ 2028年硅光子学市场预测！

HBM2及更高级别芯片或将面临管制？

又来 ! 新制裁的具体内容和例外

等离子体刻蚀!

有什么方法可以代替法拉第隔离器吗？

光学谐振腔模式知多少？

是什么决定了自发辐射噪声的强度？

6 家半导体公司上榜 2024 福布斯中国创新力企业 50 强！

沟道宽度对集成电路性能有什么影响？

AI 带来的光模块变化与机会有哪些？

光刻胶的涂覆工艺到底是怎样的流程？

峰值功率越小，非线性效应越弱吗？

2D材料的制造成本：能否与硅一较高下？

正胶和负胶的对比！

正胶和负胶的对比！

半导体厂房的洁净度，你真的清楚吗？

芯片设计有哪些方向和岗位？

什么是可调谐激光器，有哪些方法可调谐？

铜缆与光器件的较量：448G-PAM6 与 448G-PAM4 的适用性?

芯片制造中有哪些衬底材料？

大模场面积就一定好吗？

光刻中这些效应和概念，你都知道吗？

芯片的切割道中不添加 dummy 会怎么样？

Arm 与 X86 之争要以这种方式结束？

原子中的能级是怎么一回事？

3.5D 封装，会尴尬吗？

CPO 与 OCI 以及 4Tbps 光学小芯片！

单晶硅，到底是怎样制造出来的？

博通在 “Hot Chips 2024” 又展示了啥？

LOCOS 技术是什么，有什么不足？

裁员 18000 多人，电信部门孤立无援！

解读 Marvell 公司最新的 1.6T 芯片！

几 P 几 M 以及光罩层数代表什么意义？

全球裁员 1400 人！

硅光调制器中的载流子效应有什么用？

Ciena：800G及更高速率相干可插拔光模块

什么是缺口效应Notching Effect，如何抑制？

硅光波导，如何在接收端保证光的偏振性？

为什么需要电镀工艺？

光纤的弯曲应力是什么？

为什么在硅光波导中，TE模要比TM模更受欢迎？

分类

原创标签

时事社会财经军事教育体育科技汽车科学房产搞笑综艺明星音乐动漫游戏时尚健康旅游美食生活摄影宠物职场育儿情感小说曲艺文化历史三农文学娱乐电影视频图片新闻宗教电视剧纪录片广告创意壁纸头像心灵鸡汤星座命理教育培训艺术文化金融财经健康医疗美妆时尚餐饮美食母婴育儿社会新闻工业农业时事政治星座占卜幽默笑话独立短篇连载作品文化历史科技互联网

发布位置

广东北京山东江苏河南浙江山西福建河北上海四川陕西湖南安徽湖北内蒙古江西云南广西甘肃辽宁黑龙江贵州新疆重庆吉林天津海南青海宁夏西藏香港澳门台湾美国加拿大澳大利亚日本新加坡英国西班牙新西兰韩国泰国法国德国意大利缅甸菲律宾马来西亚越南荷兰柬埔寨俄罗斯巴西智利卢森堡芬兰瑞典比利时瑞士土耳其斐济挪威朝鲜尼日利亚阿根廷匈牙利爱尔兰印度老挝葡萄牙乌克兰印度尼西亚哈萨克斯坦塔吉克斯坦希腊南非蒙古奥地利肯尼亚加纳丹麦津巴布韦埃及坦桑尼亚捷克阿联酋安哥拉