国科大光电学院
光学图像与智能视觉实验室
(雁栖湖校本部)
国家部委级项目
实习生招募
研究组简介
中国科学院大学光电学院光学图像与智能视觉实验室(OiiV Lab)位于学园二120、122、215、教一楼233，总占地面积约300平米，配有国际一流的光学设备与资源平台，实验室负责人为中国科学院大学光学工程教研室主任史祎诗教授。史老师主要从事光电信息、人工智能等领域研究，曾获中国科学院王宽诚人才奖和院长优秀奖，目前任中国光学学会全息与光信息专委会常务委员、中央军委国防科技创新特区主题专家、中国激光杂志社青年编委、全国光电测量标准化技术委员会委员等。曾获中国科学院大学“最受欢迎的主讲课老师”和校级优秀课程。
史祎诗老师所主持开发的3种光电设备因满足国家相关特殊需求曾受有关部委用户好评，学术研究工作曾被美国阿冈国家实验室、英国卢瑟福实验室等机构正面引用。已发表通讯作者论文70余篇，其中50余篇SCI论文，含14篇学科顶刊论文，有3篇论文引用过百，申请国家发明专利20余项。美国光学学会系列刊物、IEEE 光电类期刊、Elsevier 光学类刊物、英国物理学会光电期刊等20余种SCI期刊，以及中国物理学会系列刊物、中国光学学会系列期刊等SCI、EI期刊论文评阅人。
项目简介
极紫外相干叠层衍射成像光刻缺陷检测
本项目面向国外封锁、国内急需的高分辨半导体芯片缺陷检测技术，开发高功率、高稳定极紫外激光器及极紫外激光参数检测设备。在此基础上开发相干叠层衍射成像技术，实现对半导体芯片缺陷检测的应用示范。本项目将基于项目团队各成员单位前期研究基础，充分借鉴国内外相关研究成果。以理论模拟为指导，结合研究目标，有计划有步骤地开展实验工作，分阶段地突破关键技术难点，完成项目研究内容。
本课题将基于研发的极紫外激光器在相干叠层衍射成像中进行应用验证。首先，研制极紫外衍射成像系统需用到极紫外单色仪。极紫外单色仪将由特制的极紫外多层镜组成，通过两面高反射率的多层镜对特定波长的高次谐波实现带通滤波，并使用椭圆镜将高次谐波光束聚焦到成像系统的样品上。
其次，研制基于高次谐波的极紫外相干衍射成像系统。该系统将采用大衍射角、反射式叠层衍射成像方式实现对半导体芯片表面纳米结构衍射图像的采集。最后，开发极紫外相干叠层成像算法。运用该算法与采集的衍射图样，对样品的复振幅信息进行重建。并利用复振幅成像结果对样品的结构及成分进行重建，实现半导体芯片纳米结构的重构和再现，实现 30nm 的成像分辨率。
报名方式
欢迎成像/光学设计/微纳光学/电子/激光雷达/微电子/物理/计算机等相关专业方向，具有一定光路搭建经验或matlab编程经验，创造力、内驱力强。有空闲时间做线上/线下实习、有时间参与设计并且希望提前熟悉实验室生活并在回所前有所收获的同学踊跃报名参加！
实习奖励：每月基本劳务800；实习结束后按个人项目完成绩效奖励1~2k，回所前开具实习证明。
报名方式：有意向的同学请将简历pdf（本科科研项目介绍以及未来研究方向）发送至邮箱，邮件主题和简历命名【实习-培养单位-姓名】
sysoiiv@126.com
