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10月25日,青岛平芯CMP抛光材料研发生产基地项目投产仪式在青岛自贸片区·中德生态园举行。青岛西海岸新区工委副书记、青岛自贸片区管委主任、中德生态园管委主任高善武,青岛平芯电子材料有限公司董事长惠宏业出席活动并致辞。该项目由上海润平电子材料有限公司投资,项目拟投资1亿元,主要建设半导体芯片制造用CMP抛光材料及精密抛光头组装研发生产基地项目,提供CMP材料和零部件的整体解决方案,可就近为链主企业提供芯片制造用CMP抛光材料及精密抛光头组装服务,保障产业链、供应链安全,有效促进集成电路企业发展,同时填补了青岛市集成电路产业CMP抛光材料及精密抛光头领域的空白,对青岛市集成电路产业链的发展起到重要支撑作用。项目达产后,预计年营业收入达3亿元,年税收约1135万元。高善武表示,近年来,青岛市着眼培育新质生产力,加快发展集成电路产业。青岛市集成电路产业园运营以来,充分发挥核心引领作用,紧紧围绕“打造中国重要的集成电路产业集聚高地”战略目标,抓项目、促投资、稳增长。截至目前,产业园已集聚产业链上下游项目40个,总投资1793亿元。青岛平芯CMP抛光材料研发生产基地落户青岛,是青岛市集成电路产业链的重要补充,将有效满足集成电路链主企业材料供应需求,成为稳定产业链供应链的坚强力量。
惠宏业表示,青岛平芯的成立,进一步推动润平集团在CMP抛光材料及精密抛光头组装服务领域的国产化进程,也为国家半导体产业链的自主可控提供了强有力的支撑。该项目的CMP抛光材料产品及服务将辐射青岛及山东省周边集成电路企业,为企业提供CMP材料和零部件的整体解决方案,保障产业链、供应链安全,促进集成电路企业发展。青岛市集成电路产业园于2022年11月26日正式揭牌成立,相继落户思锐智能、中微创芯、方益科技等多个重点企业,2023年产业园入围“中国集成电路园区综合实力TOP30”榜单第14位,青岛市跻身全球集成电路产业综合竞争力百强城市第84位,山东省成功进入国家集成电路重大生产力布局。上海润平电子材料有限公司,成立于2021年12月13日,是江丰同创产业集团旗下企业,专业从事半导体芯片制造用CMP抛光材料研发、制造和销售的科技型企业,主要产品与服务有抛光垫(PAD)、抛光液(Slurry)、金刚石修整盘、精密抛光头零部件及组装服务(Head Rebuild)等,是实现半导体芯片制造的关键工艺材料。目前已累计申请专利105项,已授权专利33项(发明专利7项)。公司团队研发的CMP抛光材料产品已在我国主要半导体芯片制造企业中得到量产应用,打破了国外企业的垄断,结束了我国CMP抛光材料长期依赖进口的历史。
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