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密封技术
陶瓷和塑料在微电子封装领域各有优劣,选择哪种材料取决于具体的应用需求和成本考虑。对于MEMS来说,密封技术是实现气密性和保护精密结构的关键,但现有技术仍存在一些挑战,需要持续的研发和改进。
本文对其进行简单介绍,分述如下:
陶瓷与塑料封装
密封技术
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陶瓷与塑料封装
陶瓷与塑料封装的对比
陶瓷基板的优势:
高布线密度:仅在多层陶瓷结构时才能实现。
优越的电、热、机械和尺寸稳定性:适用于高频(高达20GHz)应用,性能更可预见。
高成本:材料和测试成本高,制作需手工工艺。
塑料封装(PEM)的优势:
低成本和易获得性:在商业市场上占有97%以上的份额。
轻量化和小尺寸:通常只有陶瓷封装重量的一半。
良好的介电性能:介电常数可小于3,有利于减小传输延迟。
灵活的设计:适用于小外形封装(SOPs)、薄的小外形封装(TSOPs)等。
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密封技术
密封技术的目的:
提供气密性,防止在划片和封装过程中的污染或损坏;适用于不需要完全气密性的塑料封装。
二级互连系统
进一步推广这一概念,可以在密封封帽上添加凸点、管脚等二级互连系统,从而形成一个无需再加工或包封的封装。这对于MOEMS或OE芯片尤为重要,因为密封材料可能需要是透明的。
未来发展趋势
更薄、更精确的密封:正在开发中的新技术将致力于解决现有密封技术的不足。
新型封装材料和方法:如采用注模的热塑性塑料封装,更适合产生腔体,已在MEMS中得到应用。
封装工艺优化:通过研磨减薄、改进封装模具等方法降低额外成本。
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