超平和超柔韧金刚石膜的放大生产
金刚石是一种特殊的材料,由于其有趣的特性,在各个领域都具有巨大的潜力.然而,尽管在过去几十年中付出了广泛的努力,生产大量所需的超薄金刚石膜以供广泛使用仍然具有挑战性。
在这里,我们证明了使用胶带进行边缘暴露的剥离是一种简单、可扩展且可靠的方法,可用于生产超薄且可转移的多晶金刚石膜。我们的方法可以大规模生产大面积(2 英寸晶圆)、超薄(亚微米厚度)、超平(亚纳米表面粗糙度)和超柔性(360° 可弯曲)金刚石膜。这些高质量的膜具有平坦的可加工表面,支持标准的微制造技术,其超柔韧性允许直接弹性应变工程和变形传感应用,这是笨重的膜无法实现的。
系统的实验和理论研究表明,剥离膜的质量取决于剥离角度和膜厚度,因此可以在最佳操作窗口内稳健地生产基本完整的金刚石膜。这种单步法为大规模生产高品质因数金刚石膜开辟了新途径,有望加速电子、光子学和其他相关领域的商业化和金刚石时代的到来。