张通社 zhangtongshe.com
｜深耕张江的科创服务平台｜
11月8日，我国半导体装备行业“领航者”睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）新生产中心启动仪式在张江举行，公司最新光学量测设备TFX-R3和光学缺陷检测设备BriteSD300两款新产品在启动仪式现场重磅发布。睿励科学仪器新生产中心的启用是继公司营收破亿后、伴随刚宣布完成近5亿元市场战略融资的又一重要里程碑。
中微半导体设备（上海）股份有限公司、睿励科学仪器（上海）有限公司董事长尹志尧，深圳方正微电子有限公司董事长陆波，上海浦东科创集团有限公司董事长傅红岩，复旦大学微电子学院院长张卫，金石投资有限公司首席投资官李振明，上海集成电路行业协会副秘书长毛彩虹，睿励科学仪器（上海）有限公司总经理&CEO杨峰等领导出席了本次活动，来自半导体产业界、投资界、银行、媒体等各界人士共同见证了这一重要时刻。
睿励科学仪器成立于2005年，位于上海张江高科技园区，是我国第一批半导体前道工艺国产设备公司，也是半导体行业国内第一家量检测领域的国产设备公司，尤其在前道工艺量检测设备领域更是国内先驱，其研发的膜厚量测设备是至今为止进入三星半导体产线的唯一国产设备厂商。其自主研发了多项国产首台设备，填补了我国半导体设备领域的空白。公司连续多年荣获国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、上海市小巨人培育企业等称号。
凤凰涅槃，向死而生
近20年发展焕发新生机
睿励科学仪器在国内半导体装备行业是一个老兵，走过近20年的创业路，布满了荆棘和挑战。在公司成长阶段曾经一度陷入现金流短缺的困境，导致生产经营停滞。在2019年前后，多家投资机构伸出援手，让睿励科学仪器“劫后重生”。而今的睿励，老兵换新颜。公司从2018年不到60人、年营收不足500万元，濒临倒闭的境地，发展壮大到超过250人、收入上亿的平台型高端装备企业。
睿励科学仪器总经理&CEO杨峰
“走过将近20年发展历程，可以感受到经过生死洗礼的睿励正在焕发新的活力。”睿励科学仪器总经理&CEO杨峰在开场致辞中说道，他认为，新生产中心的启用将为公司提供更加充裕、更加完善、更加先进的研发与生产环境，提升公司生产制造能力，能更好、更快地为客户提供先进而稳定的集成电路量检测设备，也为公司进一步发展拓展空间。公司也将以此为契机，加大研发投入，强化技术创新，拓展市场应用，不断提升服务质量。
上海浦东科创集团有限公司董事长傅红岩
“睿励走过的近20年，走出了一条非常艰难、曲折且正确的道路。”上海浦东科创集团有限公司董事长傅红岩在随后的致辞中表示，“睿励科学仪器曾经创造出我国高端半导体装备最辉煌的一页，作为一家有深厚底蕴的科技公司，曾承担了国家和上海市一系列重大产业科技研究，在其发展过程中见证了我国半导体产业的发展历史。量检测设备是我国在集成电路制造环节尤其是前道环节‘卡脖子’区域，睿励科学仪器基本解决了在一些环节上‘卡脖子’问题。虽然发展过程中有过迷茫期，但是经过大家的共同努力，证明睿励科学仪器的励精图治得到了认可，未来一定能焕发出更加勃勃的生机。”
深圳方正微电子有限公司董事长陆波
“十年磨一剑，我们公司前不久向世界宣布的一款半导体产品全面量产，我们的合作伙伴睿励科学仪器也有一份功劳”，深圳方正微电子有限公司董事长陆波在致辞中说道。他表示，“如今与睿励科学仪器合作已有三年多，希望睿励科学仪器能够锐意进取，不断开拓创新，能够进得去、站得稳、做得好，与方正微电子携手共同成长。”
复旦大学微电子学院院长张卫教授
复旦大学微电子学院院长张卫表示，当时他作为我国02科技重大专项专家与承担02科技重大专项中“全自动光学测量设备研发与应用”项目的睿励科学仪器首次接触，多年来，睿励科学仪器为国内龙头企业提供了合格的缺陷检测和量检测设备，解决了燃眉之急；复旦大学微电子学院和国家集成电路创新中心将会继续与睿励科学仪器在技术研发、人才培养等领域加强合作，充分发挥双方资源优势，携手共进。
金石投资有限公司首席投资官李振明
金石投资有限公司首席投资官李振明表示，“金石投资自成立以来为一大批公司治理健全、核心竞争力突出、成长潜力大的科技型企业提供了长期的资本支持，本次金石投资参与对睿励科学仪器的投资，正是对睿励科学仪器近20年来矢志创新、科技报国、技术基础扎实、发展前景广阔的综合竞争力的认可。相信睿励科学仪器借市场化融资的东风，以此次新生产中心启用为契机，进一步加大研发投入和新产品开发力度，以优质的产品赢得客户，以优良的业绩回报股东。”
占地面积4000平米
新生产中心正式落成投用
随着睿励科学仪器订单量的迅速增长，在原有张江科学城洁净生产场地达到饱和的情形之下，公司在张江古博路科技园扩建新的生产基地。新生产中心占地总面积4000平方米，其中千级洁净厂房2000平米，年生产产能近200台。新生产中心的投入使用，是睿励科学仪器满足新的发展需求的必由之路，成为公司业务增长新的后方“阵地”。
睿励科学仪器新生产中心启动仪式
睿励科学仪器自成立以来，其自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，帮助国内外生产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本，得到了市场的认可和客户的好评。
启动仪式现场，睿励科学仪器向全球宣布在光学量检测领域的最新成果——光学量测设备TFX-R3和光学缺陷检测设备BriteSD300两款产品正式发布。据介绍，作为领先型膜厚量测新型号和实用型明场缺陷检测新型号，这两款产品采用了全新的光学设计思路，在测量波长、测量光斑、检测小尺寸缺陷能力等方面都有了重大突破，同时在检测效率上显著提升，能够更好地满足客户不同场景的量检测需求。
坚定信心
实现从小到大的“跨越式”发展
量检测设备是保证产线良率的“看护人”。当前，国产量检测设备厂商产品线布局以个别类别前道检测设备和先进封装设备为主，但与国际上的KLA等公司相比仍存在较大差距，而国际厂商在前道量检测设备仍处于垄断地位，睿励科学仪器在前道检测和量检测设备均有布局。
中微半导体设备（上海）股份有限公司、睿励科学仪器董事长尹志尧
“随着集成电子芯片越做越小，量检测设备的重要性不断提高，市场占有率在不断提高。”中微半导体设备（上海）股份有限公司、睿励科学仪器董事长尹志尧最后表示，“睿励科学仪器是国内最早成立并长期专注于集成电路量检测设备的企业，虽然在发展过程中经过不少起伏风雨，但公司领导和员工不忘初心，排除万难，坚强生长，默默坚持技术创新和产品打磨，经过19年的沉淀和发展，公司技术不断突破，产品不断创新，服务质量不断提高，多款设备在国内外多条生产线长期稳定运营。睿励科学仪器产品最重要的就是重复性、稳定性做得最好。”
尹志尧强调，“新生产中心的启用，是公司从小批量出货到大规模量产的迈进，更是公司长期战略规划中的重要一步。一路走来，睿励科学仪器实现从无到有的蜕变，希望公司管理者和全体员工坚定信心、自立自强、厚德载物、团结奋斗，以此为起点，加强技术攻关，加快技术研发和产品的迭代，破解‘卡脖子’难题，早日实现从小到大的跨越式发展，将公司打造成国内集成电路量检测设备领域的行业标杆，为我国集成电路产业的创新发展做出更大贡献。中微半导体作为睿励科学仪器最大股东，将一如既往全力支持公司发展，共同并肩作战、共创辉煌。”
启动仪式结束后，与会人员前往睿励科学仪器新生产中心进行了参观。
文字｜马丽 编辑｜吴晓晴
推荐阅读
