金刚石是一种特殊的材料,由于其有趣的特性,在各个领域都有巨大的潜力。然而,尽管在过去几十年中做出了广泛的努力,但生产大量所需的超薄金刚石膜以供广泛使用仍然具有挑战性。
图 1. 剥离晶圆尺寸金刚石薄膜。
图 2. 剥离金刚石薄膜的详细表征。
图 3. 机械剥离金刚石薄膜的超平整性。
图 4. 柔性金刚石薄膜用于可穿戴电子学器件。
图5. 影响剥离金刚石薄膜品质的各种因素。
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