微系统异构集成与封装中心
Center for Heterogeneous Integration of μ-systems and Packaging
(CHIP)
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请介绍实验室的筹备建设历程。
2023年6月,学校的core group小组通过了成立微系统异构集成与封装中心(Center for Heterogeneous Integration of μ-systems and Packaging,简称“CHIP”)的决议,为实验室的筹备建设奠定了基础。此后,实验室的建设工作稳步推进:
2023年6月
经大学两级会议批准筹建。
2023年9月
项目招标工作顺利完成。
2023年11月
实验室正式启动施工,建设工作全面展开。
2024年4月
经过近半年的努力,实验室的主体建设基本完成,初步具备了科研和教学的物理条件。
2024年6月
实验室建设完成。
2024年8月
实验室正式举行启动仪式,标志着微系统异构集成与封装中心(CHIP)的正式启用。
CHIP实验室的建设得到了各方的支持与协助,其功能定位于微系统集成和封装的前沿研究,为未来港科大(广州)相关领域科学研究和产业应用提供了坚实的基础。
请介绍实验室的布局、结构。
CHIP中心实验室位于W3-L4楼层,占地约400平方米。
设计理念:空间融合互联 (内部不使用墙壁或隔断,利用家具和设备摆放把空间分为四个功能区域。注:只分割出了一个万级洁净棚)。
优点:有效的空间利用;节约装修成本;为研究人员提供一个开放和协作的环境。
四个功能区域分别是:
先进封装制程区
材料制备区
功能表征区
可靠性检测区
实验室的成员有哪些?
微系统集成和封装涉及多个交叉学科(跨学科研究领域),核心成员来自各个不同学域——包括智能制造、微电子、先进材料 、可持续能源与环境、未来技术学院等。更重要的是,实验室也会和产业界深入合作,吸引外部尤其是来自产业的人员使用。
实验室引进了哪些先进设备与仪器?请讲解一下设备的用处、独特之处。
设备分类 | 描述 |
材料和样品制备 | 高能球磨机、真空镀膜溅射仪、精研一体机、激光开封机等,用于材料和样品的准备。 |
性能表征和分析 | 扫描声学显微镜(SAM)、热变形外貌检测仪、高分辨率显微镜、超景深显微镜、相控阵全聚焦超声成像系统、光学平台等,用于材料和器件的表征和故障分析。 |
可靠性测试 | 高温洁净烘箱、高低温箱、冷热冲击箱和HAST高压加速老化试验箱等,用于可靠性测试。 |
封装和集成工艺 | 扇出型晶圆级封装芯片键合机(FO-WLP Die Bonder)、扇出型晶圆级封装热压成型芯片键合机(FO-WLP Compression Mold)、Transfer Mold、CNC划片机、半自动引线键合机、激光巨量转移,DLP光固化、SLA多材料陶瓷打印等,主要用于先进微系统封装和集成工艺。 |
实验室的研究主题是什么?目前在做哪些具体的研究?
微系统异构集成与封装中心(CHIP)隶属于香港科技大学(广州),由系统枢纽院长、智能制造学域讲座教授李世玮担任创建主任。CHIP汇集了来自智能制造、微电子、可持续能源及先进材料等学域的高水平科研团队,致力于发展集成化、智能化微系统,并突破微系统异构集成中的加工、封装及系统集成等关键技术,以满足国防、航天、工业、医疗等多个领域对先进集成化微系统技术的迫切需求。该中心在香港科技大学(广州)的微纳系统集成和芯片封装研究及教育领域中发挥着重要作用。此外,中心还积极建立学术界与产业界的紧密联系,推动产、学、研的深度融合与协同进展,以促进科研成果转化。
CHIP的研究重点涵盖微系统异构集成、先进集成电路与光电子器件封装、MEMS传感器与微纳制造技术,以及新型增材制造技术和电子封装材料。中心设备齐全,配备了最新的科研仪器,可支持光电特性分析、微系统及芯片封装可靠性检测,以及先进封装材料制备和领先的封装和集成工艺。中心具备宽敞的实验空间,占地约400平方米,为科研人员提供了高效、舒适的研究环境。
实验室的职能是什么?希望能产生什么样的社会效益?
中心的职能和目标
提供先进科研平台,支持微系统集成与封装技术研究。
促进芯片集成与封装领域的教育与人才培养。
作为合作平台,推动研究成果转化与技术应用。
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