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近日，上海励兆科技有限公司（以下简称“励兆科技”）临港工厂入驻仪式在临港蓝湾举行。临港管委会高科处、临港奉贤公司、上海交大临港智创公司及相关投资人共同出席并剪彩。
励兆科技作为行业领先的半导体设备专用射频产品供应商，致力于为先进的半导体工艺设备开发生产射频电源，自动匹配器和远程等离子源等关键零部件并提供一站式射频解决方案。
在半导体射频电源领域，射频和等离子体系统是刻蚀等半导体设备的核心部件，具有较高的技术难度和壁垒，是我国“卡脖子”的核心部件。目前，国产射频系统严重依赖进口，国产化率仅1-5%，国产替代空间大。随着励兆科技研发团队发布多级脉冲射频电源产品，标志着励兆科技的技术达到了射频电源领域的第一梯队，可满足半导体设备核心零部件国产化的迫切需求。
作为临港集团“十四五”科创重点扶持项目，其自主研发的各类相关射频产品，技术指标已达到国际主流水平，致力于解决国内半导体设备核心零部件“卡脖子”问题。励兆科技临港产业化基地约4400平米，将建成覆盖射频电源、自动匹配器和RPS远程等离子源等射频产品的多条生产线，实现半导体设备核心射频零部件的全面量产，进一步加速国产化替代进程。
临港新片区成立5年来，以集成电路产业为核心，已形成了集设计、高端制造、装备材料、先进封测、芯片贸易于一体的全产业链聚集地，涵盖了成熟特色工艺、先进逻辑工艺及化合物半导体等领域。励兆科技临港工厂的入驻，将推动新片区半导体产业的持续创新和发展，推进建设具有国际影响力的综合性集成电路产业创新基地。
LINGANG
临港蓝湾规划面积17平方公里，位于临港新片区的中心节点，是新一代产城融合的卓越科创园区。
作为临港新片区前沿高端产业的重要承载区和发展生物医药产业的先行承载区，临港蓝湾吸引了美国、德国、法国、日本、荷兰、巴西、韩国等10多个国家200多个产业项目落户，形成以生物医药、新能源、智能汽车、高端装备为主，新材料、大健康、机器人等为辅的“4+X”现代化产业体系，园区是上海生物医药“1+5+X”特色产业布局重点区域，同时被纳入上海市新能源智能汽车产业地图，是生命蓝湾、国际氢能谷双特色产业园的核心承载区。
临港蓝湾坚持“特色产业引领 产城融合驱动”的发展理念，形成了特色产业园、临港创新智造产业园标准厂房、临港蓝湾国际社区三大载体，实现了产业、物业、商业“三业共兴”和生产、生活、生态“三生融合”，正全力推进特色化、数字化、绿色化、国际化，实现园区高质量、可持续发展。
编辑｜吴晓晴 来源｜临港蓝湾
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