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近日，睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）宣布完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。
睿励科学仪器成立于2005年，总部位于上海张江。公司致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片制造工艺用的光学量检测设备，是国内第一批半导体前道工艺国产设备公司，也是半导体行业国内第一家量检测领域的国产设备公司。迄今为止，睿励科学仪器仍是进入三星半导体产线的唯一国产设备厂商，也是目前唯一为半导体芯片制造良率控制、提供批量有图形光学缺陷检测设备的国产设备企业。
截至目前，公司已取得了多项荣誉。2023年，公司作为续评多年的国家级高新技术企业，又连续获评为国家级专精特新“小巨人”企业、上海市小巨人培育企业；并在2024年被认定为上海企业技术中心。
国内首家量检测设备开发企业
浦东科创集团、中微半导体是其大股东
2005年，在上海市政府的支持下，曾任全球第一大量检测设备企业研发科学家、研发经理的吕彤欣博士，回国创办了国内第一家专注于集成电路生产前道工艺量检测设备开发的企业——睿励科学仪器。公司核心团队来自行业国际巨头，专业技术团队成员大都来自国际前两名的量检测设备企业以及国内著名光学技术类公司，拥有多项全自主研发的专利技术。
量检测设备是位列刻蚀、薄膜沉积、光刻后第四大市场的半导体设备，规模占半导体设备市场份额的15%左右。中国半导体量检测设备市场则被国际厂商高度垄断，是半导体设备中除光刻机外国产化率最低的领域。
作为国内少数成规模的前道量检测设备企业之一，睿励科学仪器分别于2009年和2011年承接两项国家科技重大专项，又相继承担了上海市首批战略新兴产业项目和上海市第十三批战略新兴产业重大项目。在完成2009年专项的同时，2013年，睿励科学仪器成功实现国内首台300mm椭偏膜厚设备交付。
创业之路九死一生，由于投入大、研发时间久，回报周期长，睿励科学仪器在成长阶段曾陷入现金流短缺的困境，导致生产经营一度陷入停滞。2019年前后，浦东科创集团会同张江集团、国盛集团等多家投资机构，挺膺担当、主动作为，发挥国资创投的功能性作用，伸出援手向其投资，助力睿励科学仪器渡过难关。在配套资金的同时，支持团队迅速恢复生产和研发，妥善处理房租拖欠，解决历史包袱后轻装上阵，快速投入到集成电路产业发展的科技洪流中去。从2018年不到60人、年营收不足500万元的濒临倒闭公司，发展壮大到如今超过250人、收入上亿的平台型高端装备企业。
其中，浦东科创先后对其投资两次。浦东科创投资条线相关负责人表示，在睿励科学仪器经营最为困难、眼看资金链断裂、团队逐渐缩小、多年的研发投入即将付诸东流之时，选择出手投资睿励科学仪器出于四个方面的考虑：“一是全球高科技产业竞速，睿励科学仪器生产的半导体上游核心设备是兵家必争之地；二是睿励科学仪器是国内布局前道量检测领域最早的企业，也是当时唯一一家实现国产自研设备出货的企业，一度是上海本土该领域的独苗；三是睿励的团队十年如一日在这个领域深耕，其创始人在公司资金紧张之时，自掏腰包支付团队薪酬，企业精神令人敬佩、感动；四是中微半导体董事长尹志尧博士为睿励科学仪器的存续奔走呼号，作为同一批归国创立集成电路前道设备企业的‘革命战友’，尹总的支持促使我们下定决心。”
随后，中微半导体于2020年和2021年分两次向睿励科学仪器出资合计超过2亿元，成为最大股东，持股比例超36%，并由中微半导体董事长尹志尧博士亲自出任睿励科学仪器董事长。从此以后，睿励科学仪器与中微形成协同效应，迈入企业发展快车道。
自研多项国产首台设备
填补半导体设备领域空白
自2019年起，睿励科学仪器迎来了新一轮快速发展，前道工艺光学量检测设备领域产品线布局处于国产厂商领先地位，尤其是在膜厚及OCD、缺陷检测系列设备领域。
光学关键尺寸量测TFX4000OCD
在膜厚及OCD设备上，陆续推出了TFX3200系列、TFX4000系列、4000-OCD系列、TFX-R系列等设备，可满足200mm和300mm前后道全产线几乎所有应用，性能匹配国外同行同等水平，实现国产全替代能力，设备在各节点量产线被广泛使用，获得了良好的客户口碑。
光学缺陷检测WSD300
在缺陷检测系列设备上，睿励科学仪器相继推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD。其中，WSD是首先应用于半导体前道工艺过程检，且唯一实现量产能力的国产缺陷检测设备，可替代行业国际巨头在硅基CMP、ADI、AEI inline 以及SiC inline检测应用，取得多台重复订单并验收；BriteSD300是首台应用于半导体前道工艺的纳米级明场缺陷检测设备。
就技术而言，缺陷检测设备具有公司自研的独特算法模式及独立设计的光学架构，率先打破国际厂商垄断，是目前唯一在前道工艺用做过程检的国产缺陷检测设备，通过了28nm API验证，被多条300mm集成电路芯片产线和SiC产线采用；同时，在国内首家推出OCD设备，并完成第二代开发，性能进一步提升，为关键尺寸量测方面国产替代提供值得信赖的选择。
值得一提的是，公司产品可靠性验证超过10年，在各类客户不同的生产工艺产线上都通过了大规模量产的验证，无论是设备稳定性还是快速响应并解决问题的能力都得到了充分验证，帮助生产线提高生产效率、提升良率，得到了客户的认可和好评。此外，已完成半导体领域客户的广泛布局，并正在开展LED、显示面板及化合物半导体领域客户验证，打开广阔市场空间。
截至目前，睿励科学仪器申请专利超170项，授权101项（国外10件），其中发明申请专利78项，实用新型专利24项，外观设计专利3项；产品已被国内诸多知名Fab企业认证，并已进行泛半导体行业布局，服务客户包括三星、积塔半导体、中芯、华力微电子、中晶光电等巨头。预计未来五年实现业绩放量增长。
近5亿元，五家投资机构出手
今年，睿励科学仪器还将推出3D AOI检测设备、TSV量测设备，在研和验证中设备完善产品线布局，保持国内领先。
本轮近5亿元融资，将为睿励科学仪器的未来发展提供强有力的资金支持。睿励科学仪器总经理杨峰表示：“非常感谢投资方的认可与支持。我们将继续深耕集成电路芯片生产工艺检测设备市场，进一步丰富光学量测和光学缺陷检测产品系列，为实现集成电路前道工艺检测设备国产化全面替代的目标而努力。”他指出，未来，睿励科学仪器将持续聚焦在光学量检测领域，完善膜厚量测、OCD量测、缺陷检测，开发包括OVL的其他光学量检测设备。
作为睿励科学仪器的第一大股东，中微半导体相关负责人表示：“随着集成电路产业的快速发展，工艺检测设备的市场需求日益增长，国产化替代进口设备是大势所趋，睿励科学仪器在这方面具有巨大的发展空间和市场机会。随着新一轮融资的完成，我们期待睿励科学仪器能够进一步加速产品研发和市场拓展，巩固其在光学量检测领域的领先地位。中微半导体将继续提供全方位的支持，以促进睿励科学仪器的创新发展和持续成长。我们相信，通过双方的紧密合作，能为推动国内半导体产业链的自主可控和高质量发展做出更大的贡献。”
本轮融资领投机构金石投资相关负责人表示：“量检测设备作为晶圆制造工艺的‘尺’，是工艺过程质量控制和保证产线良率‘看护人’，其国产化的自主突破对于国内半导体产业链具有重大的战略意义。睿励科学仪器团队深耕该领域近20年，拥有较强的技术优势、较高的业务专注度以及产品创新能力，是业内具有综合竞争实力的企业。我们期待与睿励科学仪器一同成长，为我国集成电路产业自主可控贡献力量。”
文字｜张文琪 编辑｜刘程星
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