提高压电常数和表面摩擦电荷密度是这种增强的关键因素。退火工艺、掺杂技术、晶粒取向控制、结晶度控制和复合结构等方法可以有效地提高压电常数。为了提高摩擦电输出,表面等离子体处理、电荷注入、微结构、介电常数控制和结构修饰是有效的方法。这种制造方法为触觉传感器的应用提供了重要的机会。
图1 基于压电和摩擦电的高灵敏度自供电传感应用示意图
图2 压电和摩擦电的机制
图3 高压电常数材料的制造策略
图4 有效摩擦电表面电荷产生的制造策略
图5 基于压电的压力和弯曲传感器制造策略
图6 基于压电的纹理和位置传感器
图7 基于摩擦电的压力和触摸传感器的制造策略
图8 基于摩擦电的距离和材料传感器的制造策略
图9 用于可穿戴和机器人应用的多功能触觉传感器设计的进展和挑战。
原文题目:Manufacturing strategies for highly sensitive and self-powered piezoelectric and triboelectric tactile sensors 论文共同第一作者:Hyosik Park,Gerald Selasie Gbadam 原文链接:https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2631-7990/ad88be
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