在量子材料、高能物理、核能发电、航空和生物医学诊断等领域，对大块组件的微观缺陷特征进行检测和鉴定是一个重大挑战。超声成像具有成本效益高、非电离等优点，能够穿透较厚的样品，适用于大规模材料检测。传统的线性体声波由于波长较长，对微观缺陷特征的成像能力有限。
近年来，超材料透镜被提出用于实现亚波长分辨率，但目前使用宏观尺度超材料超声实现的亚波长成像分辨率通常在几毫米级别，无法满足微米级特征的检测需求。本研究旨在使用商业超声探头和微结构超材料透镜，实现低至50微米分辨率成像。
本研究开发一种基于微结构超材料透镜和体声波的微米级成像技术，克服传统超声成像的分辨率限制，实现对材料内部微观缺陷的高分辨率检测。使用新型微加工超材料透镜，首次展示了体超声波低至50微米的非凡分辨率。讨论了具有10微米方孔阵列的硅基法布里-珀罗型超透镜的开发和性能。
微金属透镜制造的工艺流程
使用微焦LDV和微超透镜对具有亚波长缺陷的硅样品进行透射超声扫描
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