应对需求波动，自动化也在视野中
SCREEN控股公司（HD）的彦根事业所（位于日本滋贺县彦根市）是该公司占据全球市场份额首位的半导体清洗设备的主要生产基地。公司计划在2033财年实现销售额比当前水平翻倍，达到1万亿日元以上，而销售额约占80%的半导体制造设备业务的母工厂——彦根事业所将在其中发挥重要作用。公司根据半导体需求的扩大持续进行设备投资，并推动自动化以提高生产能力。
SCREEN HD的彦根事业所主要生产适用于直径300毫米晶圆的单片式清洗设备。目前，半导体制造设备的生产厂房“S Cube”共有5栋，其中S Cube 4于2023年1月开始运营，S Cube 5则于2024年1月投入使用。通过这两栋新厂房的建设，SCREEN半导体解决方案公司（总部位于京都市上京区）的集团销售额在2022年的基础上提升了40%，年销售额扩大至5000亿日元。
在S Cube 5中，部件的配送采用了无人搬运车（AGV）。AGV通过读取贴在地面上的二维代码来获取位置信息并行驶。由于二维代码的布局更改方便，AGV也属于非固定设备。SCREEN半导体解决方案公司的生产统括部长木本启介解释说：“10到20年后的清洗设备主流是什么样的，现在还无法预测”，说明了半导体行业的复杂性。半导体行业需求波动较大，技术革新速度快，因此，新厂房采用了灵活的生产模式。
在S Cube 3、4、5这三栋厂房中，清洗设备的整个生产线跨越建设。通过集中生产热销设备，公司不仅提高了生产效率，还确保了高利润率。目前的生产主要集中在单片式清洗设备“SU-3200”。由于针对线宽为1纳米级（纳米为十亿分之一米）的半导体，即使设备内的微小灰尘也会产生问题，因此采取了多种措施创新。为了支持客户生产尖端半导体，SCREEN HD在生产过程中也采用独特的方法保持零部件和模块的高洁净度。
随着新厂房的相继建设，彦根事业所的扩展潜力已开始显现出局限。然而，尽管如此，半导体清洗设备的需求仍在不断增长，提升生产能力依旧是一个重要课题。木本统括部长表示：“首要任务是有效利用时间，避免浪费。”
为了实现有效的时间利用，公司已开始探讨装置组装和功能检测的自动化。由于设备的规格因客户而异，公司计划首先在具有共通部位和功能的组装与检测中实施自动化。
