12月30日，宁波首个高能级微纳平台——甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（简称“微纳平台”）正式投用。
资料显示，甬江实验室（新材料浙江省实验室）由宁波市人民政府、浙江省科技厅共同组建，主要开展材料前沿科学研究，旨在突破材料关键核心技术，是浙江省聚焦新材料科创高地建设作出的重大战略部署，也是宁波市史上最大的科技投资项目。
甬江实验室围绕电子信息材料与器件、新能源材料、功能性结构材料、前沿材料、智能制造与高端装备等领域建设若干研究中心；建设并向全社会开放的材料分析与检测平台、信息材料与微纳器件制备平台、材料数字化研发平台、绿色化工新材料中试验证平台等创新服务枢纽。
其中，微纳平台位于甬江实验室创园，平台拟对标IMEC创新生态模式，围绕高速通讯、元宇宙、自动驾驶和智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术，立足长三角，建设面向全国的集光电芯片材料生长、器件制造、先进封装与测试、可靠性验证等为一体的具有先进研发和产业验证能力的枢纽型开放共享平台。
据悉，微纳平台建立了完善的标准化工艺库，可满足不同芯片的研发需求，并开放给企业使用。此外，微纳平台还支撑科研团队获批两项2024国家重点研发计划，其中包括甬江实验室牵头的“大尺寸超高纯超厚立方相碳化硅材料制备关键技术及应用”。同时，已开发高深宽比的介质刻蚀等国际领先工艺。
目前，该平台现已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备了165台（套）高端精密设备。此次投用的是微纳平台6英寸研发线，8英寸验证线有望在2025年投用。
据该平台负责人钟飞介绍，力争到2031年，建成有影响力的泛半导体领域全链条研发与验证平台。
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