12英寸SiC衬底,我国两家企业首发

科技   2024-12-31 12:18   广东  


近期,我国两家碳化硅大企天岳先进、烁科晶体先后披露了最新一代12英寸SiC衬底。据多位行业人士表示,虽然可以明显看到12英寸SiC衬底需求较大,但是今年和明年仍处于8英寸碳化硅元年,预计12英寸SiC衬底小规模生产时间将落在2027年开始。


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烁科晶体发布12英寸碳化硅衬底



12月26日,中电科半导体材料有限公司所属山西烁科晶体有限公司成功研制出12英寸(300mm)高纯半绝缘碳化硅单晶衬底,并同期研制成功12英寸(300mm)N型碳化硅单晶衬底。


近期行业最新消息显示,国内某项目建设环评公示平台公开了关于“中国电科(山西)碳化硅材料产业基地(二期)竣工环境保护验收”报告。


报告披露,烁科项目位于山西转型综合改革示范区潇河产业园太原起步区(北区),厂房分两期建设。其中一期工程已于2024年5月完成验收;二期工厂在一期工程基础上扩建,在2023年8月进行备案,同年10月提交建设申请,目前也宣告完成验收。


据“山西转型综改示范区”报道,中国电科(山西)碳化硅材料产业基地(二期)项目在2023年9月开始建设、同年11月主体封顶,今年3月份已进入机电与设备安装阶段,计划4月份开始试运行,建成后将新增6-8英寸碳化硅衬底年产能20万片。


具体来看,二期项目总投资5.2亿元,在中国电科(山西)碳化硅材料产业基地原有地块内新建碳化硅单晶生长车间、购置相关生产设备,并在预留区新增晶体生长设备。本项目购入半成品料后,按订单生产,二期扩建产能中部分直接外售,不进行进一步加工;订单要求进一步加工时,将进入(一期)现有车间进行加工。


二期项目建成后,可新增产能N型碳化硅单晶衬底20万片/年、高纯衬底2.5万片/年、莫桑晶体1.3 吨/年。


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天岳先进发布12英寸碳化硅衬底



11月14日,天岳先进官微披露,2024德国慕尼黑半导体展览会(Semicon Europe 2024)于11月12日正式开幕,天岳先进携全系列碳化硅(SiC)衬底产品亮相,并于11月13日发布了12英寸(300mm)N型碳化硅衬底产品,标志着碳化硅产业正式迈入超大尺寸碳化硅衬底时代。


据介绍,12英寸碳化硅衬底材料,能够进一步扩大单片晶圆上可用于芯片制造的面积,大幅提升合格芯片产量。在同等生产条件下,显著提升产量,降低单位成本,进一步提升经济效益,为碳化硅材料的更大规模应用提供可能。天岳先进董事长宗艳民表示,对于所有SiC器件制造商而言,生产成本的主要压力在于从棒料(boules)切片形成衬底的缓慢增长率。我们希望通过扩大衬底尺寸,持续降低每单位面积的材料成本。


据悉,针对高压大功率电力电子器件用P型碳化硅单晶衬底存在的成本高、电阻率高、缺陷控制难度大等技术难题,天岳先进布局液相法技术,在2023年发布了8英寸碳化硅晶体,并于2024年推出了采用液相法制备的4度偏角P型碳化硅衬底。


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