张通社 zhangtongshe.com
｜深耕张江的科创服务平台｜
出品 | 张通社
首图 | 豆包AI生成
近日，超微半导体设备（上海）有限公司（简称“超微半导体”）在上海临港新片区成立，注册资本高达4250万元人民币。该企业由半导体领域的资深领航者尹志尧亲自挂帅担任法人代表。
工商信息显示，超微半导体的业务版图涵盖了半导体器件专用设备销售、电子专用设备销售及专业设备维修服务等关键领域。
据企查查深度股权穿透分析，超微半导体的背后包括知名企业中微公司等4位股东，持股比例及认缴出资额暂未披露。此次新公司的成立，将有望进一步推动半导体产业的快速发展。尹志尧作为公司的法人代表，其在半导体领域的丰富经验和深厚背景，无疑将为新公司的稳健发展提供坚实的领导力量。同时，中微公司等股东的加入，也将为新公司在技术研发、市场拓展等方面提供强有力的支持。
“最强大脑”
助力中国半导体设备产业发展
尹志尧，1944年出生于北京，是中国半导体设备产业的重要领军人物之一。他1967年毕业于中国科技大学化学物理系，1984年获得美国加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位。毕业后，尹志尧获得了在国外的第一份工作——美国硅谷英特尔公司邀请他到美国总部担任工程师兼研究员。这个决定，也开启了他在硅谷的“第二人生”。
在英特尔工作两年后，尹志尧掌握了半导体设备的研发技术，跳槽去了华人林杰屏创立的泛林半导体。在这里，他主导研发了彩虹号氧化物刻蚀机，这款产品让尹志尧在刻蚀机制造领域崭露头角，在行业内逐渐树立起自己的声誉。
1991年，尹志尧加入现在全球第一大半导体设备商应用材料公司，在等离子刻蚀事业群任职。到2000年，尹志尧成为该事业群的总经理，负责高达16亿美元的生意，在他的带领下，应用材料公司的等离子刻蚀业务取得了显著的发展，而尹志尧也成为了微观设备领域的“最强大脑”之一。
这也是他在硅谷的最后一段工作经历。
在硅谷打拼的传奇20年里，尹志尧个人在半导体行业积累了86项美国专利和200多项国际专利，被誉为“硅谷最有成就的华人之一”，也被部分媒体称为“硅谷传奇”。
然而正在风生水起之时，2004年，尹志尧做出了一个震惊硅谷的决定——放弃在美国的百万年薪，归国创业。
在一次采访中，尹志尧被问及为什么选择在60岁时回国创业，尹志尧说：“我是一个中国人，在中国得到了很好的教育，也有十多年的生产和研发的工作经验。去美国的时候已经36岁了，我总觉得缺些什么东西，对祖国的欠缺，应该给自己的国家做事情。”
回国后，在上海半导体灵魂人物江上舟的邀请下，尹志尧带领团队一行15人来到上海浦东，成立了中微半导体设备公司，从此开启了他的“第三人生”。
科创板首批上市企业
率先提出“皮米级”加工精度概念
从尹志尧2004年归国创立仅有15人团队，到如今，中微公司已逐渐成长为全球员工超过两千人。从2007年首台刻蚀设备、薄膜设备研制成功并运往国内客户，到2024年，中微公司累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产和大规模重复性销售。
中微公司刻蚀机包括CCP高能等离子刻蚀机、ICP低能等离子刻蚀机。凭借行业首创的刻蚀设备双台机技术，中微公司率先提出“皮米级”加工精度概念，其刻蚀精度已达到100“皮米”以下水平，且产品具备刻蚀应用覆盖丰富等优势，可满足90%以上的刻蚀应用需求，技术能力已覆盖5纳米及以下更先进水平。
MOCVD设备方面，中微公司已在氮化镓及LED设备市场，取得具有优势的占有率。中微公司自推出第一代MOCVD设备以来，不断丰富产品线且快速升级迭代，目前在Mini LED等氮化镓基设备领域，中微公司的市场占有率居前，并持续开发用于氮化镓、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD设备。
在半导体薄膜沉积设备领域，中微公司推出了Preforma Uniflex CW等新产品，获得客户重复性订单并实现业务多元化发展。今年，中微公司计划将推出超过10款新型薄膜沉积设备，进一步扩大薄膜沉积领域产品覆盖度。
作为2019年首批科创板上市企业，截至2024年6月，中微公司累计申请专利已达2648项，已获授权专利1670项，其中发明专利占比高达85.87%，目前累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产和大规模重复性销售。
中微公司的客户遍布中国大陆和中国台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等10多个国家和地区，在全球范围内拥有2000多名员工，其中研发人员占比接近半数。
中微公司累计荣获百余项知名奖项，在美国TechInsights全球客户满意度调查中，中微公司连续多年排名位居前列。2023年，中微公司荣获“上海市科技进步一等奖”，并还多次入选福布斯中国最具创新力企业50强榜单。此外，中微公司两次荣获“中国专利金奖”，多次荣获“中国专利优秀奖”、“上海市发明创造专利奖”和“上海市知识产权创新奖”等奖项。
尹志尧的领导和技术创新为中国半导体产业的发展做出了巨大贡献，他的传奇故事仍在继续。
临港新片区
半导体产业发展的热土
超微半导体在临港新片区的成立，不仅是一个企业的新起点，也是临港新片区集成电路产业蓬勃发展的一个缩影。
今年是临港新片区揭牌成立五周年，也是“东方芯港”启动建设五周年。集成电路是临港新片区“4+2+2”前沿产业体系的核心组成，涵盖设计、制造、设备、核心材料、封装等完整门类，是临港投资规模最大、产业集聚度最高、产值增长最快的先导产业。
集成电路产业规上产值从2019年的不到3亿元到2024年即将突破200亿元，用五年时间实现翻六番的增长奇迹。今年上半年，集成电路产业规上工业产值117.3亿元，增速274.9%。从集成电路产业的细分领域来看，设备产业是链条最完善、生态最好的领域。
临港新片区已落地集成电路设备整机、零部件及关键耗材企业有80余家，已覆盖涂胶显影设备、光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备、清洗设备、量检测设备、后道封装测试设备等环节，并延伸到阀门、腔体设备等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、抛光材料等关键耗材领域。
2021年，中微公司正式启动了中微临港产业化基地、中微临港总部和研发基地的建设。今年8月2日，中微公司临港产业化基地项目正式投入使用，占地157亩，总建筑面积约18万平方米，配备行业领先的实验室、业界高标准的洁净室、先进的生产车间及智能化立体仓库等设施，可实现生产全程数字化、智能化管理，为中微公司最大的生产制造基地。
在启用仪式上，中微公司表示，整合产业链上下游相关资源也是公司面向未来发展的一项发力点，通过积极考虑投资和并购，推动该公司更快发展。中微公司预计，在未来的五到十年，将通过自主研发以及携手行业合作伙伴，覆盖集成电路关键领域50%至60%的设备。
串珠成链，集链成群。企业的集聚、生态的完整、政策的扶持，都让临港新片区逐渐成为半导体产业发展的热土，未来也将吸引越来越多的企业在此集聚发展。
超微半导体的成立，是尹志尧在半导体领域的又一力作，也是中微公司在半导体设备领域的新布局。在临港新片区这片半导体产业的热土上，超微半导体有望成为推动半导体产业发展的新引擎。随着技术的不断进步和市场的不断扩大，超微半导体的未来值得期待。
文字｜刘程星 编辑｜吴晓晴
推荐阅读
