图片来源:SUN J, TIMURDOGAN E, YAACOBI A, et al. Large-scale nanophotonic phased array [J]. Nature, 2013, 493(7431): 195-199.
OPA主要由输入波导、分束器、移相器、输出天线组成,如图所示:图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展图片来源:吉林大学,SiN-on-SOI Optical Phased Array LiDAR for Ultra-Wide Field of View and 4D Sensing激光由输入波导进入分束器,之后通过移相器改变波导内光的相位,利用光波相位差来实现光束扫描,最终由光栅天线发射出去,其原理类似于多缝弗朗禾费衍射。图片来源:网络
4)有些已经开发出了完整的芯片封装、高速驱动电路及高通量信号处理技术,成功实现了高质量FMCW点云输出。 1. 2017年,MITWATTSMR团队,50通道OPA2017年,美国麻省理工学院WATTSMR团队,首次在硅光平台上使用50通道OPA,实现了固态FMCW激光雷达的测距功能,如图所示。图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,WANG K, NIRMALATHAS A, LIM C, et al. High-speed indoor optical wireless communication system employing a silicon integrated photonic circuit [J]. Optics Letters, 2018,43(13): 3132-3135.芯片的整体尺寸为6mm×0.5mm,其中OPA使用分组级联移相器架构,扫描视场为46°×36°,发散角为0.85°×0.18°,主瓣功率为1mW,旁瓣抑制比为8dB。利用OPA芯片作为发射和接收端构建片上FMCW激光雷达,调制速率190THz/s。将3个目标被放置在与芯片不同的入射角处,最终在2m范围内实现了距离和速度的同时测量,测距分辨率为20mm。 2. 2019年,MITWATTSMR团队,512通道OPA2019年,WATTSMR团队在先前的基础上,再次展示了可以远距探测的全固态FMCW激光雷达,如图所示,图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,POULTON C V, BYRD M J, RUSSO P, et al. Long-range LiDAR and free-space data communication with high-performance optical phased arrays [J]. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, 2019, 25(5): 1-8.OPA具有512通道,功耗创纪录的小于1mW,移相时间小于30μs,扫描视场为56°×15°,横向发散角为0.04°。测试性能:1)基于无源OPA(无移相器)收发的FMCW激光雷达系统,可以检测到最远在185m处的目标。2)用两个有源OPA(带移相器)搭建的相干3D激光雷达系统,可以探测到7m外站立的人的手臂和腿部等特征,以及8m和12m外的墙壁轮廓。 3. 2019年,WATTSMR&STOJANOVIĆV,128通道OPA同样在2019年,该团队联合加州大学伯克利分校的STOJANOVIĆV团队,提出了硅基OPA芯片和CMOS驱动电路三维集成的全固态FMCW激光雷达,如下所示,图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,BHARGAVA P, KIM T, POULTON C V, et al. Fully integrated coherent LiDAR in 3D-integrated silicon photonics/65 nm CMOS[C]//2019 Symposium on VLSI Circuits, 2019, 9: 262-263.128通道OPA芯片的尺寸为500μm×254μm,纵向扫描视场为18°,发散角为0.15°×0.3°。片上集成FMCW激光雷达系统的调频速率为9THz/s,调频周期为50μs,采用延迟光纤模拟了100m距离的探测目标,信号量化噪声容限可以达到46dB。对自由空间中3个不同目标进行测试,在50cm的探测范围内实现了3.3cm的测距分辨率。 4. 2021年,HASHEMIH团队,256通道OPA2021年,美国南加州大学HASHEMIH团队提出了256通道OPA的大规模二维扫描FMCW激光雷达片上系统,如下所示,图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,CHUNG S W, NAKAI M, IDRES S, et al. 19.1 optical phased-array FMCW LiDAR with on-chip calibration[C]//2021 IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC), 2021, 64:286-288.OPA芯片中的天线间距为1.4μm,扫描视场为67°×5°,发散角为0.32°×0.95°。FMCW激光雷达系统的调频带宽为1.87GHz,调频周期为5.12μs。探测目标距离为5m时,拍频频率130kHz,如下所示,其中6.8mm的测距误差为片上光路引入的光程差。图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,CHUNG S W, NAKAI M, IDRES S, et al. 19.1 optical phased-array FMCW LiDAR with on-chip calibration[C]//2021 IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC), 2021, 64:286-288. 5. 2022年,Analog Photonics,8192通道OPA2022年,美国麻省理工学院WATTSMR团队成立的创业公司Analog Photonics,再次报道基于8192通道OPA的片上FMCW激光雷达,如下所示,图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,POULTON C V, BYRD M J, RUSSO P, et al. Coherent LiDAR with an 8, 192-element optical phased array and driving laser [J]. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, 2022, 28(5): 1-8.OPA中光学天线的间距为1μm,扫描视场为100°×17°,发散角为0.01°×0.039°,旁瓣抑制比为10dB,收发口径为8mm×5mm。该全固态激光雷达系统包含OPA、定制CMOS器件和驱动激光源。其中,OPA的输出功率为50mW,系统中激光器的波长可调谐范围为60nm,洛伦兹线宽为50kHz,调频带宽为1.3GHz,调频周期为17.5μs。如下所示,图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,POULTON C V, BYRD M J, RUSSO P, et al. Coherent LiDAR with an 8, 192-element optical phased array and driving laser [J]. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, 2022, 28(5): 1-8.利用该系统对室内环境进行探测,可以输出154×20的点云数量,最远可以探测到35m处的目标。 6. 2023年,Analog Photonics,9216通道OPA2023年,该团队延续上述的大规模阵列,提出了基于9216通道OPA芯片的FMCW激光雷达片上系统(MOSS B R, POULTON C V, BYRD M J, et al. A 2048-channel 125 μW/ch DAC controlling a 9216-element optical phased array coherent solid-state LiDAR[C]//2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits),2023.)。OPA芯片中的单元间距为1.7μm,孔径大小为94mm2,扫描视场为50°×11°。该系统实现了50m以上目标的相干探测,每个驱动单元的平均功率为125μW,分辨时间<400ns,系统对两个点转向时间<3.8μs,每秒可出10000个。
03
国内研究现状
相比国外而言,虽然国内研究起步较晚,但是近几年发展迅速。主要研究高校和机构包括吉林大学、中国科学院西安光学精密机械研究所、中国科学院半导体研究所、上海交通大学、浙江大学、中国科学院微电子研究所等。 1. 2022年,吉林大学宋俊峰团队,64通道OPA2022年,吉林大学宋俊峰团队基于Si3N4-onSOI工艺设计,并制作了二维64通道OPA芯片,如下所示,图片来源:ZHANG L, LI Y, CHEN B, et al. Two-dimensional multi-layered SiN-on-SOI optical phased array with wide-scanning and long-distance ranging [J]. Optics Express, 2022, 30(4):5008-5018.光束扫描视场可达96°×14.4°,发散角为1.41°×1.49°,同时实现高达690mW的主瓣功率,调制周期为3GHz,调频速率为30MHz/μs。该团队利用上述芯片搭建的FMCW激光雷达系统,如下所示,图片来源:ZHANG L, LI Y, CHEN B, et al. Two-dimensional multi-layered SiN-on-SOI optical phased array with wide-scanning and long-distance ranging [J]. Optics Express, 2022, 30(4):5008-5018.对反射率为90%的目标最远探测距离为109m。此外对20.055m、30.213m、50.817m、80.278m和102.25m这5个位置,拟合测距精度分别为1.9cm、0.8cm、1.4cm、2.2cm和0.9cm。 2. 2022年,中科院半导体研究所潘教青团队,512通道OPA同在2022年,中国科学院半导体研究所潘教青团队,基于Si3N4工艺平台研制了两种512通道的啁啾光栅天线和均匀光栅天线OPA芯片,如下所示,512通道OPA:图片来源:YU L, MA P, LUO G, et al. Adoption of large aperture chirped grating antennas in optical phase array for long distance ranging [J]. Optics Express, 2022, 30(15): 28112-28120.啁啾光栅天线(CGA)和均匀光栅天线(UGA):
图片来源:YU L, MA P, LUO G, et al. Adoption of large aperture chirped grating antennas in optical phase array for long distance ranging [J]. Optics Express, 2022, 30(15): 28112-28120.(说明:原文图片(d)描述的CGA应为UGA,上图已经修改)
啁啾光栅天线实现了均匀的近场光强分布和3.16mm×20.5mm的大口径,约为均匀光栅天线的两倍。得益于大尺寸的设计,啁啾光栅天线的主瓣发散角极小,约为0.04°×0.05°,横向扫描视场为22.93°,边模抑制比高达11.52dB×12.03dB。该团队使用啁啾光栅天线OPA搭建相干激光雷达系统,实现了100m测距。相比之下,均匀光栅天线OPA的有效孔径较小,在相同条件下只能实现50m的相干测距。这是首次通过相干测距实验来证明Si3N4啁啾光栅天线OPA的优越性。 3. 2023年,中科院西安光学精密机械研究所孙笑晨团队,32通道OPA2023年,中国科学院西安光学精密机械研究所孙笑晨团队,提出并实现了一种基于OPA芯片的固态FMCW激光雷达。其中OPA芯片为32通道非等间距排布,如图所示,图片来源:LEI Y, ZHANG L, YU Z, et al. Si photonics FMCW LiDAR chip with solid-state beam steering by interleaved coaxial optical phased array [J]. Micromachines, 2023, 14(5): 1001.扫描视场为20°×15°,远场发散角为0.4°×0.8°,栅瓣抑制比为6dB。之后该团队将两组OPA集成在一个光学芯片上,构成收发交错同轴全固态FMCW激光雷达系统,调频带宽为5GHz,调制速率为15kHz,激光功率为100mW,目标反射率90%,该系统对3个不同角度距离的目标进行探测,测距精度为1.5cm。 4. 2024年,浙江大学余辉团队,32通道OPA2024年,浙江大学余辉团队,提出了基于Si3N4-on-SOI工艺平台的32通道色散型OPA,扫描视场为45.6°×10°,发散角为1.45°×0.032°,如图所示,图片来源:JIANG X, ZHANG Z, HUANG Q, et al. Beam-steering based on dispersive optical phased array for FMCW LiDAR application[C]//2024 Optical Fiber Communication Conference. Optica Publishing Group, 2024.利用该芯片搭建的片上集成FMCW激光雷达系统,调频带宽为3GHz,调频周期为1ms,输入到OPA的光功率为12.4dBm,主瓣功率为−7dBm。实现10m距离的目标探测,信噪比可达36.8dB。如图所示,图片来源:JIANG X, ZHANG Z, HUANG Q, et al. Beam-steering based on dispersive optical phased array for FMCW LiDAR application[C]//2024 Optical Fiber Communication Conference. Optica Publishing Group, 2024. 5. 2024年,上海交通大学周林杰团队,256通道OPA2024年,上海交通大学周林杰团队,基于上述工作在Si3N4-on-SOI工艺平台上研制了256通道的OPA芯片,和以往工作不同的是,这次将外腔激光器芯片与OPA混合集成到了一起,形成了全固态集成激光雷达的发射端,如图所示。OPA芯片具有50°×16°的扫描视场和0.051°×0.016°的光束发散角。图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,LU L, XU W, GUO Y, et al. Large-scale optical phased array based on a multi-layer silicon-nitride-on-silicon photonic platform[C]//2024 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition (OFC), 2024.该团队利用上述芯片搭建FMCW激光雷达系统,如图所示,图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展,LU L, XU W, GUO Y, et al. Large-scale optical phased array based on a multi-layer silicon-nitride-on-silicon photonic platform[C]//2024 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition (OFC), 2024.其中,调频带宽为0.9GHz,调频速率为1kHz,调频信号线性度为99.74%,由于芯片中天线的不一致性和存在的相位噪声会造成较大的波束损耗,因此探测光发射到自由空间后,通过在参考光路引入不同长度的延迟光纤模拟不同的目标距离。实验表明,在50m距离范围内具有99.7%的高线性回归系数。 6. 中科院微电子研究所朱精果团队中国科学院微电子研究所朱精果团队,在硅光工艺平台完成多通道OPA芯片多轮流片工作,并提出基于混沌序列的双重自适应度遗传算法优化天线阵列的排布方案,以及叉指型波导光栅天线阵列进行纵向大视场拼接扫描,如下图(a)所示。同时,搭建FMCW激光雷达系统,如下图(b)所示,针对后端信号处理,提出一种数字下变频与全相位FFT时移相差法结合的,高鉴频精度高处理速度算法,在实时处理和鉴频方面进行了相关探索。图片来源:朱精果等,片上集成FMCW激光雷达研究进展
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