本土OLED蒸镀设备国产化进展及难点

企业   2024-11-13 17:49   浙江  

















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随着全球OLED产能重心逐渐向国内转移,OLED设备国产替代迎来了新机遇。国内面板扩产带动设备投资扩张,据数据预测,国内AMOLED产线设备市场投资规模将在2024年到达历史新高约866亿元2021-2024年CAGR为13%


目前我国OLED设备国产率较低,尤其是前段、中段制程由于制造难度大、技术壁垒高,被国外垄断,且在短期内很难完成替代;后段和检测设备领域国内企业掌握了一定话语权。



在AMOLED工艺制程中,蒸镀是生产制造的核心,直接影响OLED面板良率与质量,主要由Canon Tokki垄断,日本Ulvac公司在G8.5垂直蒸镀机方面布局颇深,Sunic、SNU等韩国公司也有较强的竞争力。


根据OLED世代线不同,蒸镀机分为G2.5、G4.5、G6、G8.5等诸多型号。目前G6蒸镀机(FMM 技术)是量产主流,LGD的G8.5 WOLED蒸镀机(OPEN MASK)由韩国YAS公司提供,三星、京东方的8.6代生产线蒸镀机分别由日本佳能与韩国Sunic System提供。从国内企业的布局看,仅合肥欣奕华、奥来德等少数公司有所进展。


合肥欣奕华2015年起布局研发OLED蒸镀机,产品包括G1、G2.5及硅基OLED蒸镀机,目前已完成国内首台全自主研发的12寸硅基OLED蒸镀机量产交付。

 



图均来源:合肥欣奕华

 

蒸镀环节是将OLED有机材料蒸镀在背板上,与驱动电路结合形成发光器件,因此蒸镀的对位精度、膜厚均一性、稳定性是工艺挑战所在。合肥欣奕华创新设计加热机构和冷却单元,保证蒸发温度场均匀性控制精度≤±1%,蒸发速率的稳定性控制在±1.5%的波动范围内。通过特殊的有机材料混合配比,满足膜层的均匀稳定以及对连续蒸镀时间和物质纯度的要求。在对位精准控制上,合肥欣奕华设计了大尺寸玻璃基板最小化下垂支持机构,开发了掩膜版与玻璃基板磁力吸附与均匀压合技术,最终实现高真空环境的微米级精准对位。


合肥欣奕华在低世代线蒸镀设备领域已经达到行业先进水平,一定程度上实现国产替代,同时持续布局8.6代 OLED蒸镀机。随着笔电、平板、TV、车载显示等需求的扩张,中大尺寸OLED显示面板迎来广阔的应用空间,硅基OLED向全彩化方向发展、面板朝着大尺寸进一步迭代,小于1微米的对位精度开发、用FMM方式蒸镀硅基器件都是国内企业需要逐步突破的技术难点。


除了整机设备之外,蒸发源作为蒸镀设备的“心脏”同样受制于人。本土企业中仅奥来德在线性蒸发源的开发上取得一定进展,已成功实现供应成都京东方、云谷(固安)、武汉华星、合肥维信诺、武汉天马、重庆京东方、厦门天马等。2023年,子公司上海升翕顺利完成了厦门天马二期和重庆京东方三期追加蒸发源项目的合同签约工作,意味着其产品成功导入量产

 


奥来德G6线性蒸发源设备打破国外垄断,具有热分布稳定、蒸镀均匀性好、有机材料变性小等优势,最大可满足连续250小时的生产需求,并支持与Tokki蒸镀机适配,提高了高世代AMOLED制备的精度控制能力和良品率及有机材料利用率。据势银膜链了解,奥来德已完成8.6代线性蒸发源设备样机制作,正在有序进行测试及市场推广


除了生产工艺难题之外,国产OLED蒸镀设备面临量产的难题,在于设备上下游供应链关系不协调


从上游看,蒸发源产品所使用的原材料来自进口,且能满足需求的上游厂商相对单一;从下游看,面板厂不会轻易更换设备供应商,且核心部件技术评估程序复杂,耗时长。


国产设备未经过面板厂充分使用验证,销售业绩成为短板,难以持续性地开展研发计划,阻碍国产化产品的应用和发展速度。另外,政府、协会等相关机构能不断推动产业上下游的配套建设和产品验证,为设备商提供一定的容错空间,帮助推动国产化设备的认证过程,实现技术与工艺的积累。


随着国内六代面板产线建设周期进入尾声,高世代产线火热上马,国产设备将会迎来广阔的进口替代机遇。当前国际贸易形势要求国内OLED厂商大力导入国产设备,自主可控的生产设备和本土化的产业链才能夯实我国在OLED生产领域的竞争优势。









基于此,势银(TrendBank)将于2024年12月10日-12日在浙江台州举办势银(黄岩)新型显示技术及供应链产业年会暨先进功能材料&装备产业大会。


海信/京东方/云南创视界/TCL华星/维信诺/辰显/精诚时代/合肥乐凯/凯盛/东方科脉/斯凯瑞/上海追得/光子晶体/苏州昱烨/思摩威/日久光电/激智科技/维真显示/三月科技/华鹰涂布/安思迪/智慧芽/鹿山兴邦/镭昱光电/3M/四川大学/势银27家企业已确认参会并将发表演讲。





来源:势银膜链

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