工艺腔中的等离子体是如何分区的?

学术   2024-11-05 18:01   北京  


文章来源:Tom聊芯片智造

原文作者:Tom


本文介绍了工艺腔中的等离子体是如何分区的。


等离子体的产生来源于辉光放电,阴阳极板之间的等离子体还可以再分区吗?


阴阳极板之间等离子体的分区?



如上图,从左往右分别是:阿斯顿暗区(Aston Dark Space), 阴极辉光区(Cathode Glow Space),阴极暗区(Cathode Dark Space),负辉光区(Negative Glow Space),法拉第暗区(Faraday Dark Space),正辉光区(Positive Glow Space),阳极辉光区(Anode Glow Space),阳极暗区(Anode Dark Space)。

“glow”区域是发光的,“dark”区域是不发光的,因此暗区与明亮的区域交替进行。


为什么会有暗区?

以阿斯顿暗区(Aston Dark Space)为例,阿斯顿暗区位于阴极附近,电子刚刚从阴极发射出来,初始能量较低,无法与气体分子发生足够强烈的碰撞以激发其发光。

哪个区域发光最强?

负辉光区(Negative Glow Space)发光最为强烈,因此看起来与阴极暗区有明显界限。

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编辑:小帅
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