PECVD的喷淋头有什么作用？
学术
2024-11-04 18:01
北京
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文章来源：Tom聊芯片智造
原文作者：Tom
如上图，Showerhead，又可翻译为喷淋头，花洒等，Showerhead通常紧贴反应区的上部，并作为气体入口，将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能，有的设计好可以用来充当电极的一部分。Shower head表面布满了密密麻麻的小孔，反应气体流入后，会被均匀地分成若干份，并以一致的流速传输到晶圆上方，使反应气体均匀覆盖整个晶圆表面，以便生成更均匀的镀层。当Showerhead作为电极的一部分时，射频电源在其表面产生均匀的电场，能够形成均匀的等离子体。最常见的是铝金属，因为其具有较高的热导率及抗腐蚀能力。也可以用石英或陶瓷来做shower head。
