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TGV 的优势是什么？

学术 2024-11-05 18:01 北京

文章来源：睐芯科技LightSense

原文作者：LIG

本文介绍了TGV的优势是什么，以及性能特点是什么。

A、TGV的基材以硅酸盐复盐为主

B、几种典型的高硼硅玻璃化学组成(wt%)和性能特点

来源:《高硼硅玻璃材料结构及性能研究进展》，陈慧等，Open Journal of Natural Science 自然科学, 2020, 8(6), 603-610 。

C、TGV 的优势是什么？

与硅衬底相比，玻璃通孔（TGV）的强度主要包括以下几点：

1）优异的高频电气特性。

玻璃材料是一种绝缘体材料，介电常数仅为硅材料的 1/3 左右，损耗因数比硅材料低 2-3 个数量级，大大降低了衬底损耗和寄生效应，保证了传输信号的完整性。

2）大规模超薄玻璃基板很容易获得。

玻璃制造商可提供超大型（>2m × 2m）和超薄（<50μm）面板玻璃和超薄柔性玻璃材料。

3）成本低

得益于大尺寸超薄板玻璃的易得性和无需沉积绝缘层，玻璃中介层的制造成本仅为硅基中介层的 1/8 左右。

4）工艺流程很简单。

无需在基板表面和玻璃通孔（TGV）的内壁上沉积绝缘层，在超薄中介层中无需减薄。

5）机械稳定性强。

当中介层厚度小于 100μm 时，翘曲仍然很小。

6）应用领域广泛。

除了在高频领域具有良好的应用前景外，作为一种透明材料，还可以用于光电系统集成。气密性和耐腐蚀性的优势使玻璃基板在 MEMS 封装中具有巨大的潜力。

END

转载内容仅代表作者观点

不代表中国科学院半导体所立场

编辑：小帅

责编：木心

投稿邮箱：weixin@semi.ac.cn

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