光伏技术 | 氧化工序原理作用

学术   2024-12-18 21:20   河南  
1. 电池片生产与退火工艺基本流程

2. 氧化退火作用
① 氧化退火前后区别及优势
在高温扩散中形成许多缺陷,如空位、填隙原子、位错、层错、杂质诱生缺陷等,经过退火作用,可以对晶格缺陷起到修复作用,减少了复合中心。
② 杂质耗尽与杂质堆积
高温磷扩散,硅片表面堆积过多磷原子,退火可以激活更多磷原子,降低表面浓
度,减少表面“死层”。
③ 氧化退火对Si-SiO2界面悬挂键有一定修复作用,减少界面态密度。

④ 氧化退火作用总结

消除晶格缺陷,消除应力;

激活磷原子,增加有效掺杂;

减少Si-SiO2界面悬挂键,提高氧化层钝化效果;

提高少子寿命,提高电池效率;

END


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