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光伏技术 | SiO2厚度影响因素

学术 2024-12-20 21:16 河南

1. 氧化速率分布图

2. 氧化速率影响因素

 温度

 湿氧化或干氧化

 厚度

 压力

 硅片晶向（<100>或 <111> ）

 硅中杂质

3. 各类氧化比较区分

END

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光伏改变世界，技术点亮未来！

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