【热点资讯】苏州硅时代推出MEMS开关工艺解决方案！

文摘 2024-12-06 23:59 江苏

据麦姆斯咨询报道，近日，国内专业从事MEMS代工服务的苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era）推出国内首个MEMS开关工艺解决方案。

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>> MEMS Switch Solution <<

* 可为客户提供：
>> 快速验证产品设计
>> 降低开发成本
>> 减少进入市场时间
>> 实现片上集成的高性能MEMS Switch器件

* 核心工艺能力：
>> 可使用不同的悬臂梁材料（金、合金、复合膜）
>> 高性能介质层
>> 高可靠性触点材料
>> 核心牺牲层工艺，可兼容不同牺牲层释放工艺
>> 超低应力、超低粗糙度电镀工艺
>> 可基于玻璃/石英/高阻硅衬底进行流片

* 已解决的关键技术难点：
>> 金属悬臂梁弛豫抑制
>> 高阻硅表面态处理
>> 触点材料鲁棒性
>> 极低寄生电荷
>> 电镀应力调控
>> 悬臂梁翘曲测量表征
>> 可提供TSV/TGV晶圆级封装，减少封装带来的性能损耗，实现产品小型化

图1 MEMS Switch Solution

典型客户案例

苏州硅时代已为多家客户提供MEMS开关技术支持，其中包括多所国内知名大学、研究所、大中型企业。

——基于该工艺解决方案：

客户A：与苏州硅时代密切合作，对基于MEMS开关的Ka频段移相器进行了系统化的设计流水，器件初步测试结果达到业界先进水平。

客户B：对多种类型的RF MEMS开关进行流水加工，样品良率达到90%以上。

图2 客户A：设计加工的MEMS移相器晶圆样品

图3 客户B：设计加工的RF MEMS开关样品

MEMS开关简介

MEMS开关是利用MEMS技术制作的微小机械式开关，如图4所示，通过控制悬臂梁的机械运动，来控制信号的导通与断开。按照应用场景不同，可分为射频微机电开关（RF MEMS Switch）与微机电继电器（MEMS Relay）两大类。

图4 射频MEMS开关结构示意图

RF MEMS Switch

RF MEMS Switch与半导体固态电子开关（Solid State Switch）相比具有损耗小、功耗低、尺寸小、线性度高等非常卓越的优点，可应用于移相器、调谐天线、可调滤波器、波束成形、开关矩阵等射频系统及子系统。从无处不在的智能传感器网络、移动手机，到测试仪器设备以及军用雷达，RF MEMS Switch器件越来越显示出其广阔的应用前景。

MEMS Relay

MEMS Relay与传统电磁继电器（Electromechanical Relay）相比具有功耗低、响应速度快、器件寿命长等优势，可应用于测试设备、电源管理、工业及民用物联网等领域，为设备小型化、高可靠物联网、低能量损耗电力系统、助力“双碳”提供了更多可能性。

关于苏州硅时代

苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era），位于国内最大的MEMS产业集聚区——苏州纳米城。利用MEMS领域近20年的技术积累，在MEMS传感器、生物MEMS、光学MEMS以及射频MEMS方面都拥有大量的设计和工艺经验。

基于成熟的设计及工艺团队，苏州硅时代面向MEMS领域，提供全方位的技术服务。可提供MEMS芯片定制设计开发、集成电路芯片设计、MEMS芯片工艺验证、MEMS芯片小批量试制、MEMS芯片中试化量产、MEMS芯片封装方案设计等系统解决方案，也提供MEMS设计、加工、测试等单步或多步工艺实验开发。

在MEMS加工（微纳加工）、MEMS代工（微纳代工）领域，拥有丰富的技术积累和工艺经验。在掩膜版制作方面积累了丰富的经验，可提供快速制版，三天交付的专业服务。

苏州硅时代电子科技有限公司作为一家专注于MEMS设计、MEMS加工的高技术公司，拥有丰富的MEMS加工资源，可实现4/6/8寸MEMS芯片设计、代工，以及多种单步工艺代工的完整工艺能力。具备成熟的光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等微纳加工能力。所使用设备状况精良，设备能力优异，并可多工艺合作开发，高效评估，高质量实施，全流程收集实验数据，精细的流程管理以及优质的服务。

Paving the way for customer's MEMS

快速制版业务：www.mask-making.com
微纳代工业务：www.si-era.com
联系方式：0512-62996316/18118143020

微信号：18118143020

邮箱：sales@mask-making.com

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微纳研究院

硅时代提供全方位的技术服务,可提供MEMS芯片定制设计开发、集成电路芯片设计、MEMS芯片工艺验证、MEMS芯片小批量试制、MEMS芯片中试化量产、MEMS芯片封装方案设计等系统解决方案,提供MEMS设计、加工、测试等单步或多步工艺实验开发

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