紫外线装置在超纯水系统出镜率很高的工艺段。其一个目的是控制微生物，细菌对超纯水的品质影响很大。通常以波长254nm的紫外线进行杀菌，最小照射量在16000μW·s/cm2。
另一目的就是去除TOC，但紫外线波长需要185nm。一般高纯水水质要求TOC小于20~50μg/L时，需要设置185nm紫外线装置。
紫外线装置在超纯水系统出镜率很高的工艺段。其一个目的是控制微生物，细菌对超纯水的品质影响很大。通常以波长254nm的紫外线进行杀菌，最小照射量在16000μW·s/cm2。
另一目的就是去除TOC，但紫外线波长需要185nm。一般高纯水水质要求TOC小于20~50μg/L时，需要设置185nm紫外线装置。
