为加快推动西安电子科技大学高质量科技成果在粤港澳大湾区产业化，西电广研院将常态化发布科技成果产业化项目，寻求有资金及产业开发能力的产业企业、投资机构前来参与合作。
成果名称
大尺寸铁电/压电薄膜晶圆及MEMS器件
成果介绍
厚度在数十纳米至数微米的铁电/压电薄膜是一类重要的用来制备电子功能器件或芯片的战略性基础材料，它们可以被广泛应用在电子信息、生物医疗、智能传感、航空航天等民用以及军用领域。漏电流高、成本高、晶化温度高(无法与MEMS、COMS集成兼容)是该类产品的行业痛点；长期以来一直被欧美、日本等海外企业(意法半导体、罗姆、株式会社、博世等)所垄断。
为解决以上卡脖子问题，并实现国产批量化以及高的性价比，我们通过十余年时间，上万次实验，已逐步推出多款成熟薄膜产品，其性能已经领先国内外同类产品至少3-5年。
拥有独创的胶体配制技术、特殊的晶化与退火方法、丰富的性能调控策略；可实现元素周期表中氧化物结构在多个衬底上成分、结构、性能以及取向量身定制，同时可实现超低温制备(小于450度)。
三、成果方向
雷达与微波
四、应用前景
该项目所开发产品可广泛应用于民用以及军用领域，具体领域包括：MEMS扬声器、压电传感器、压电执行器、压电换能器、相控阵雷达移相器、电光器件、工业打印机喷头、脉冲电容器、固态制冷核心模组、以及非致冷红外热释电成像等器件。该项目的实施将对我国相关科技领域、新兴战略产业以及促进社会进步起到良好的带动作用
据Youle统计MEMS市场：预计2024年该领域市场规模将达到485亿美元。
五、团队介绍
目前已组建包括教授、副教授、博士生、硕士生、工程师等研发、运营、市场、销售以及生产管理在内完整的产学研团队，具备完备的科研条件。
团队负责人主持国家自然科学基金项目（面上和青年）、装备发展部**行动（应用转化项目）、省级自然科学重大科技创新工程（500万）等各类项目十余项，累计纵向经费超过1000万。2021年入选西安电子科技大学“华山学者”特聘教授，并当选IAAM Fellow（国际先进材料学会会士），同时进入由Elsevier 和斯坦福大学共同推出的全球全学科ESI排名2%顶尖科学家库中，陕西省高等学校科学技术奖一等奖；连续三次获得国际Ani Award(能源领域诺奖)提名。
六、获奖情况
掌握国际领先的溶胶凝胶批量化制备高品质晶圆级大尺寸铁电压电薄膜技术，目前所创立公司产品已被国内外多个龙头企业和研究机构认可，所主导产业化应用项目获得"2022年西北工业大学全球校友创新创业大赛"创意组分赛区金奖以及总决赛特等奖（第一名）；获得“2022年陕西省首届博士后创新创业大赛”总决赛金奖（材料组第一名）；获得“2022年广西南宁邕城创客优秀路演项目金奖”；入围“杭州市萧山区5213计划”;受邀参加“百度奇绩创坛”交流；已获得国内多家知名投资机构天使轮意向投资；入选“苏州工业园区科技领军人才”。
主持并承担了以下主要项目：
1、主持承担国家自然科学基金面上项目一项（项目名称：毫米波雷达移相器用自由能扁平化多相畴氧化铪基铁电薄膜基础研究；在研）；
2、主持承担省级重点研发（重大科技创新工程）子课题项目一项（项目名称：无压缩机固态电卡制冷系统研发及产业化；拟资助，项目总经费2000万元，分配经费500万元）；
3、主持承担HY行动项目一项（项目名称：八英寸高品质铁电薄膜的溶胶凝胶批量化制备；经费100万元，在研）；
4、主持承担省级杰出青年科学基金项目一项（项目名称：固态电卡制冷；已结题）。
（请填写近5年项目或项目相关成果获奖情况，如：第x届“创客中国”总决赛一等奖）
七、技术成熟度
产业化
八、合作方式
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编辑｜崔浦菁
责编 | 吉 祥
审核 | 陈大明
