年产3万片!碳化硅衬底,竣工验收

科技   2024-10-31 20:05   江苏  

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来源:行家说三代半 

超芯星:SiC衬底项目竣工

10月24日,据“苏环院”官网消息,江苏超芯星半导体有限公司旗下“碳化硅衬底关键技术研发及产业化项目”已于近期竣工验,目前正在稳定运营中。

据介绍,该项目位于南京江北新区集成电路产业化基地,属迁建建设类项目;新厂房利用碳化硅单晶制备、切割、研磨、抛光及晶体、晶片检测仪等设备,建设碳化硅晶体生长及加工生产线,项目建成后形成年产碳化硅衬底3万片的生产能力和规模。

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超芯星于2021年已投资3亿元建设第三代半导体碳化硅衬底关键技术研发及产业化项目,项目位于南京市江北新区龙泰路润诚科技园;由于现有厂房规模无法满足后续发展需求,超芯星再投3亿元将该项目从润诚科技园搬迁至集成电路产业化基地,项目工艺、产品、产能不变。

该项目于2024年5月取得环评批复,并开始生产车间施工装修、设备安装与调试。同年7月工程竣工,并开始试生产;目前工程能够稳定运营。

官网信息显示,超芯星半导体成立于2019年,致力于6-8英寸碳化硅衬底技术的开发与产业化,目前可提供6/8英寸碳化硅晶体、6/8英寸碳化硅衬底、碳化硅晶片位错密度检测等产品及服务。

2023年7月,超芯星还宣布与国内知名下游客户签订了8英寸碳化硅深度战略合作协议,未来将根据客户的扩产进度,为其提供优质衬底。

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