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来源:潮新闻
12月24日上午,温州首家晶圆厂——浙江星曜半导体有限公司(以下简称“星曜”)的5G射频滤波器芯片晶圆产线项目投产仪式,在温州湾新区、龙湾区举行。该项目总投资7.5亿元,投产后将年产12万片高性能射频滤波器晶圆片,预计2025年2月实现产品交付客户。
星曜是温州首家集成电路企业,晶圆产线项目的投产,意味着该企业已逐步形成一条从芯片设计研发、晶圆制造、封装测试到销售的全产业链条,填补温州集成电路产业链制造领域的空白。
芯片由晶圆分割而成,晶圆是芯片生产的载体。星曜于2020年落户温州湾新区、龙湾区,经过4年发展,公司已拥有120多人的顶尖研发团队,研发出100多款高性能滤波器芯片和10多种射频模组芯片,终端客户覆盖国内外众多品牌的通讯设备公司。
为了实现射频滤波器芯片从自主设计到自主生产,去年4月,由星曜投资的温州首家晶圆厂项目继续签约落户温州湾新区、龙湾区。“项目主要用于高性能射频滤波器芯片的生产制造和封装测试等,投产后,将大大增强企业芯片供应能力,同时也能大幅度提升产品开发速度。”启动仪式现场,企业负责人高安明介绍。
芯片制造对洁净环境要求非常高,现场,包括光刻机、蒸镀机、刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放,整个操作车间一尘不染,工作人员身穿无尘洁净服进行操作。
芯片制造类似乐高盖房子,先用衬底材料作为地基,再层层往上叠加芯片制造流程,重复若干次,产出相应的芯片。“星曜可以在温州生产第一批芯片产品了。”现场,晶圆厂负责人邱金荣难掩内心激动。
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晶圆厂占地4万平方米,包括晶圆制造中心、封装测试、生产辅助和废气废液纯水动力处理中心等配套设施。“从2023年10月9日拿到施工许可证,到今年4月18日主体结构封顶,一共用了6个月零12天,再到9月18日首台设备搬入、11月20日生产线调通、今天正式投产,最大感受就是快。” 邱金荣表示,这既是星曜速度,也是温州湾新区速度。
去年上半年,自项目签约开始,温州湾新区、龙湾区便组建项目专班,针对企业提出的个性化需求,几乎有求必应。
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