MCS高端工业压力传感器(九 )

文摘   2023-11-08 21:44   陕西  

       压力传感器行业内的人士都知道  ,目前大量使用并比较流行的压力传感器的原理或者工艺有mems充油芯体,陶瓷压阻和陶瓷电容芯体,金属溅射薄膜芯体和玻璃微熔芯体 ,这些都是国外的技术 。

      (中星测控公司陶瓷电容压力变送器 )

     各种工艺的压力传感器都有自己的特点, 都有自己的应用市场。Mems充油芯体覆盖了负压到高压100M帕左右 ,精度高的可以做到1‰ ,一般的0.5%没有问题 。现在被广泛应用,做变送器的厂家也很多 。金属溅射薄膜和玻璃微熔技术,500kpa以下做起来非常困难, 同时精度也比较难保证 ,大多数被用在常压或高压应用环境 。陶瓷压阻,量程负压低压也有 ,但精度不好。 高压到60Mpa ,精度也不好,一般用于精度要求不高的工业环境里面,做成变送器 0.5% 1%的较多 。(德国e+h的陶瓷电容传感器,由于做了很好的补偿 ,所以精度高 )

      (中星公司制造的系列制冷压力传感器 )

      众所周知, 压力传感器的应用环境和应用领域非常的多, 也有细分市场。除了用量比较大的汽车和空调以外 。还有更多的不同的应用领域 ,虽然用量不是很大, 但是也对传感器提出了新的技术要求和新的挑战 ,而且表现出高端的个性特点 。

       比如说在半导体设备制造领域 ,由于要测量各种气体的压力 ,包括腐蚀性气体 ,可燃气体 ,易爆气体 ,同时压力的量程又不是很高 。这样在客户选择传感器方面就,有了一定的选择性困难 。

      首先。 溅射薄膜和玻璃微融技术, 由于低压做起来很困难 ,同时成本也会增加 ,所以就排除在外 ,不能使用 。

    (西安中星公司mems充油压力传感器 )

      陶瓷技术,不管是电容的还是压阻的 ,由于密封存在泄露的风险,精度也不好保证 , 所以这类客户也不会选用 。

     MEMS扩散硅充油芯体是较好的选择 ,无论是低压量程(500 kpa左右 )还是精度以及全焊接结构都可以满足这样的需求 。但客户还是有顾忌, 因为毕竟充油芯体里面有硅油 ,存在漏油破裂的危险 。

      怎么办 ?

    西安中星测控公司的原创MCS工业压力传感器,刚好可以满足这种应用环境 。

     第一 ,客户要求的量程-100kpa到+500kpa? OK!

       第二 ,精度0.5%点到0.25%? OK !

       第三 .被测气体大部分都兼容不锈钢17-4 ph  OK!

       第四,也是客户最关心的MCS压力传感器 ,没有充油同时直接用激光焊接 ,不存在漏油的风险, 也不存在气体泄露的风险 。

       第五 ,使用寿命。 绝缘电阻符合这类客户的要求 。

        第六 ,形状 尺寸 客户也满意 。

      半导体设备大多属于高端应用,西安中星测控公司的mcs高端压力传感器将在半导体设备发挥应有的作用 。同时也满足原创技术, 中国制造。不受美国技术制约 。

       半导体设备制造商选择中国原创技术 ,中国原料及工艺生产的MCS高端工业压力传感器 。

#2023.11.08.21:28 西安高新区 #

 

      

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