真空泵可以按不同的工作原理、真空度及结构特点进行分类。
1.按工作原理分类
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，包括气体转移式真空泵和气体捕获式真空泵。气体转移泵是一种能使气体不断地吸人和排出，借以达到抽气目的的真空泵。该种泵基本上有变容真空泵和动量传输泵两种类型。气体捕获泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。其中活塞式真空泵、旋片式真空泵、分子真空泵、螺杆式真空泵、喷射真空泵、扩散泵等是几种有代表性的泵型。
2.按真空度分类
目前真空技术设计的压力范围达100～10-16kPa。这么宽的压力范围，除了粗真空和低真空可以用一种真空泵获得外，高真空以上的领域必须应用两种以上真空泵机组来完成。按照真空度从高/超真空到粗/低真空，真空泵大致可分14大类：即高/超真空一低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵，中真空一干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵、粗/低真空一单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。
3.按结构特点分类
(1)机械式真空泵
在各种真空设备中，凡使用机械运动(转动或滑动)不断改变泵内吸气容腔的容积而获得真空的泵常称机械真空泵。机械式容积真空泵靠机械运动使泵腔工作容积周期变化，来实现抽气作用的是机械式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。
此外，分子泵也是一种机械真空泵。它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
(2)射流式真空泵
喷射真空泵是由喷嘴、吸入室、扩压管三部分组成。其本身没有运动部件，利用流体传递能量和质量。它利用具有一定压力的工作流体通过喷嘴高速喷出，通过能量转换，在喷嘴出口形成真空，从而将被抽介质吸引出来，两股介质在扩压管内进行混合及能量交换，最后以略高于大气压而排出。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。
