半导体设备的smoke sensor即烟雾传感器，是一种能够探测半导体设备所在环境中是否有烟雾及烟雾浓度的传感器.
功能
• 火灾预警：当半导体设备因电气故障、过热等原因引发火灾产生烟雾时，烟雾传感器能够迅速检测到烟雾，触发报警信号，提醒工作人员及时采取措施，防止火灾蔓延，保护设备和人员安全.
• 设备保护：可及时检测到烟雾，使工作人员能够快速响应，避免烟雾对半导体设备造成进一步的损害，如腐蚀、短路等，减少设备维修成本和停机时间。
• 环境监测：持续监测半导体制造环境中的烟雾状况，有助于维持生产环境的稳定性和可靠性，确保半导体制造过程的正常进行 。
安装位置
• 设备内部：对于一些大型的半导体设备，如光刻机、刻蚀机等，可将烟雾传感器安装在设备内部的关键部位，如电气控制柜、加热区、激光发生区等附近，以便及时检测到设备内部可能产生的烟雾.
• 设备上方：安装在半导体设备的上方，这样可以更好地捕捉上升的烟雾，尤其是对于那些可能会产生大量烟雾的设备，如熔炉、退火炉等，能够及时发现烟雾泄漏情况。
• 通风系统：在半导体制造车间的通风管道、空调系统等通风设备中安装烟雾传感器，可以监测通风系统中的烟雾流动情况，防止烟雾在通风系统中积聚和传播，保障整个车间的空气质量和安全。
原理
• 光电式：由光源、光学元件和光电探测器组成。正常无烟时，光源发出的光线沿直线传播，光电探测器接收不到光线或接收到的光线强度较弱。当有烟雾进入时，烟雾中的颗粒会使光线发生散射和折射，部分光线被光电探测器接收，导致其电流或电压发生变化，当变化超过设定阈值时，触发报警信号.
• 离子式：利用放射性物质使空气电离，形成带电离子，在正常状态下，电流保持稳定。当烟雾进入传感器腔室时，烟雾中的微小颗粒会吸附离子，干扰电流，使电流发生变化，传感器检测到电流变化超过一定阈值后，发出警报信号.
• 气敏式：常见的有半导体气敏传感器，其敏感元件是金属氧化物半导体材料。当表面吸附被检测气体时，半导体微结晶粒子接触介面的导电电子比例会发生变化，从而使气敏元件的电阻值随被测气体的浓度改变而改变。当烟雾中的可燃气体等成分被气敏元件吸附时，电阻值发生变化，达到报警阈值时触发报警.
