伺服阀的故障常常在电液伺服系统调试或工作不正常情况下发现的。有时是系统问题包括放大器、反馈机构、执行机构等故障，有时是电液伺服阀的问题。因此首先要确定是系统问题、还是伺服阀问题。
解决这疑问的常用办法是：若条件允许，将阀卸下，上试验台复测检查。
大多数情况无此条件，这时一个简单的办法是将系统开环，备用独立直流电源、经万用表给伺服阀供正负不同量值电流，从阀的输出情况来判断阀的故障及故障原因。若阀无故障，再分析系统问题，例如：执行机构的内漏过大，会引起系统动作变慢，滞环严重、甚至不能工作；反馈信号断路或失常等等，放大器问题有输出信号畸变或不工作。
１、 阀不工作
a.马达线圈断线，脱焊；
b.进油或进出油口接反；
c.前置级堵塞，使得阀芯正好卡在中间死区位置，这种概率较小；
d.马达线圈串联或并联两线圈接反，两线圈形成的磁作用力正好抵消。
２、 阀有一固定输出，但已失控
a.前置级喷嘴堵死；
b.阀芯被赃物卡住；
c.阀体变形引想阀芯卡死；
d.内部保护滤器被赃物堵死。需更换滤芯，返厂清洗、修复。
３、 阀反应迟钝、响应变慢等
a.系统供油压力降低；
b.保护滤器局部堵塞;
c.某些阀调零机构松动、马达零部件松动
d.系统中执行动力元件内漏过大
e.油液太脏，阀分辨率变差，滞环增宽。
４、 阀输出忽正忽负，不能连接控制，成“开关”控制。
a.伺服阀内部反馈机构失效；
b.系统反馈断开；
c.系统出现某种正反馈现象。
５、 漏油
a.安装座表面加工质量差；
b.阀安装面密封圈质量问题；
c.阀上工艺堵头等处密封圈损坏；
d.弹簧管破裂、内部油管破裂等引起马达与阀体间漏油。
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