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第八届国际碳材料产业展览会
先导科技集团有限公司
展位号：W1039
先导科技集团 于1995年开始涉足稀散金属行业，2003年在清远正式成立(先导稀材)，是一家全球领先的专业从事稀散金属及其高端材料、器件、模组、系统的研发、生产、销售和回收服务的高新技术企业,拥有国家稀散金属工程技术研究中心、国家认定企业技术中心、博士后科研工作站、设有独立的先导中央研究院。
广东先导元创精密有限公司为先导科技集团子公司，成立于2023年7月，主营业务为集成电路半导体设备核心零部件的生产与研发。公司为客户提供极具竞争力的核心零部件产品，包括质量流量控制器（MFC)、喷淋头、加热器、腔体、静电卡盘、碳化硅环，EPD-OES光谱仪等。
气体质量流量控制器VG80系列
MFC是用于控制气体质量流量的零部件，VG80为压差式，拥有独特的双阀设计，可为客户提供高精度（±0.5%S.P.）、快响应（≤100ms）的产品选择。
气体质量流量控制器E60系列
E60型号为热式MFC，拥有压力非敏选项，以及120°C高温和特殊低压工况定制，为客户提供定制化需求，本司已有十余年的交付历史，为客户提供高性价比的可靠流体解决方案。产品已在市场得到广泛的应用，如ETCH、CVD、PVD、ALD、MOCVD、IMP，MPCVD等设备中。
微波电源
微波电源已开发915MHz75kW微波电源，并在客户机台上面验证，取得了良好的效果，正准备批量生产；并可根据客户需求定制30kW-100kW范围的产品。广泛应用于MPCVD、解热解冻干燥、石英提纯、医疗废弃物处理、半导体等领域。
第八届国际碳材料大会暨产业展览会将于2024年12月5-7日在上海举办！先导科技集团有限公司邀您共聚上海新国际博览中心，展位号W1039，不见不散！
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