“厦门造”MEMS压力传感器在深海试验中交出高分答卷！

科技 2024-09-02 00:00 上海

“厦门造”MEMS压力传感器在千米级的深海试验中，交出高分答卷，各项指标比肩业界通用的进口传感器。

厦门火炬高新区企业敬微精密表示：

通过搭载用户单位——厦门大学“嘉庚”号科考船，公司此前对自主研制的CYH1454606型深海用压力传感器开展了为期一周的深海比测试验。测试结果表明，这款传感器的压力值和变化趋势与进口传感器高度一致，重合度超过99.9%。这也标志着我国自主研发的深海压力传感器达到国际先进水平。

CYH1454606型深海压力传感器固定在CTD架子（左）、ROV两侧（右）的示意图

成绩的背后

是敬微精密坚持自主创新的坚实步伐

该公司2019年年底成立于厦门软件园一期，公司创始人兼首席科学家张延平是全球MEMS微加工领域的顶尖专家、厦门市“双百人才”（A类）。自成立以来，敬微精密便瞄准高端MEMS芯片传感器领域，专注于宽温区硅压力芯片传感器，覆盖芯片设计、封装、测试、微加工工艺、材料、器件等除制造之外的创新自主可控的全链条。

敬微精密副董事长钟宜潸介绍

宽温区硅压力传感器是我国亟待突破的关键技术之一。我们的创始人本科毕业于厦门大学，怀着“弘扬嘉庚精神，坚定科技报国”的初心，解决核心器件“卡脖子”问题，希望能为科技强国建设贡献力量。

厦门市敬微精密科技有限公司副董事长钟宜潸介绍公司主要产品

耐温性对于传感器来说至关重要

钟宜潸说

敬微精密研发的宽温区硅压力传感器产品耐温性强，最高可达350℃，远远超过了2021年国家研究项目的指标要求。

作为一家初创企业，敬微精密的茁壮成长离不开营商环境的滋养。

软件园一期

令钟宜潸感触颇深的是，火炬高新区为企业配备了“一对一”服务专员，帮助企业协调解决了包括场地、政策申报在内的多项问题，助力企业心无旁骛谋发展。

目前

敬微精密的传感器产品已应用于

深海、航空航天领域

钟宜潸表示：

公司将加快市场开拓，拓展产品在石化、核能等工业领域的应用。同时，敬微精密将继续深耕高端传感器领域，瞄准自主创新链上的痛点做研发，争取实现更多突破。

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MEMS

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