中科院长春光学精密机械与物理研究所(长春光机所)突破国外技术封锁,自主研制出4米量级非球面数控光学加工中心,集成了应力盘抛光和磁流变抛光功能,加工出国际上最大的4.03米口径碳化硅反射镜(国外大口径反射镜使用微晶玻璃等其他材质或由多块拼接而成),可用于天文和对地观测,服务于科研和国防。
国防科技大学用自主研制的离子束抛光机床加工镜头,可用于DUV光刻机
精密的加工需要有相应的测量手段来指导。在研磨和粗抛阶段,常用摆臂式轮廓仪(上图左),利用安装在旋转臂末端的高精度位移传感器来测量镜坯表面轮廓,精度可达微米到数十纳米级别。在精密抛光阶段,则采用光学干涉的方法(上图右)对镜片表面形状进行高精度测量。
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参考资料和素材来源:
蔡司公司PPT.
https://www.ipcei-me.eu/wp-content/uploads/2020/11/ESSDERC19-IPCEI-S3-ZEISS_Bilski_High_NA_EUV_Optics.pdf
中央电视台. 《新闻联播》20130222我国高精度光学零件制造加工技术取得突破.
https://tv.cctv.com/2013/02/22/VIDE1361531715874167.shtml
中央电视台.《朝闻天下》2019082新中国的第一 第一块4米量级碳化硅反射镜.
https://tv.cctv.com/2019/08/24/VIDEIElK6o5fTk2JGgwT6wU6190824.shtml
中央电视台.《朝闻天下》20200223大口径轻质碳化硅反射镜研制取得新进展.
https://tv.cctv.com/2020/02/23/VIDEdNG0TCyMH3XE5j954Ktc200223.shtml
张立超. 极紫外多层膜技术研究进展. 中国光学与应用光学,2010,3(6):554-565.
刘锋伟,吴永前,陈强,等. 大口径光学非球面镜先进制造技术概述. 光电工程,2020,47(10):63-85.
钟显云. 深紫外光刻物镜系统非球面的磁流变精抛技术研究.中国科学院大学,2020.
石峰,舒勇,宋辞,等. 紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展. 强激光与粒子束,2020,32(3):27-33.