在车间里触摸新质生产力脉动①｜数百种集成电路从一片片6英寸光罩开始

政务 2024-10-11 11:14 浙江

编者按：新质生产力既是推动经济高质量发展的必然选择，也是塑造未来竞争新优势、抢占未来竞争制高点的关键核心。生产车间，是先进技术生成现实生产力的重要载体。从今天起，柯桥传媒集团推出系列报道《在车间里触摸新质生产力脉动》，记者走进柯桥一家家厂房车间，感受一项项先进技术通过在工厂车间的应用，催生出一个个充满希望的新产业，带来质优效高的经济增量。

集成电路是新质生产力的典型代表之一，光刻技术是集成电路制造技术的重要组成部分，而光刻光罩是光刻技术中最核心的环节之一，光刻光罩上的图形模式直接影响着芯片的精度和质量。兴华芯半导体科技有限公司从2023年3月17日土地摘牌后，13天拿到施工证并开工，12个月产出首张样片。2024年9月，兴华芯半导体科技有限公司进入全面生产。接下来，就跟我们记者一起来看看半导体光罩产业车间是什么样的景象。

直面痛点攻克“卡脖子”技术

10月10日上午，记者来到兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司，工厂制造主管刚拿着一张检验合格的光罩片从无尘车间出来。他手中的这片芯片光罩方方正正，犹如一块块水晶板，看似普普通通，却是集成电路从设计端到制造端的桥梁，也是公司整个研发团队心血的结晶。

“简单来说，光罩就是把芯片线路设计图刻画下来，做成一个‘几何缩小版’，下游芯片企业再通过光刻工艺，将光罩上的设计图形精确复制到硅片上，从而实现集成电路的制造，所以说光罩就是集成电路从设计到制造的关键第一步。”制造主管告诉记者，对大多数人而言，光罩是一个陌生而又神秘的名词，但通过光罩生产出来的集成电路及电子产品，却深度影响着大家的生活。曾几何时，这集成电路制造的“第一步”，便是“卡脖子”的技术难题。

据介绍，光罩的生产工艺非常复杂：先把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，最后经过脱模、清洗和检验等十几道工序才能制作成光罩片。

“光罩的生产难点主要在它的关键尺寸和其本身的位置，因为光罩生产过程中，最细到纳米级的线条，只要有一点点的偏差或者位置的移动，都会导致整片光罩要重新做过。”公司工程师告诉记者，经过公司研发团队一年多的努力，目前产出的光罩已经成功突破了90纳米，正在往更高端的产品进军。

样品到全面生产实现国产替代

“今年的4月1日，‘兴华芯’的首片工程测试片出品，并成功通过测试和检验，随后，我们通过试生产、正式投产，产能正在逐渐爬坡，目前一期已经完全建设完成，每个月的产能可以达到约1350余片光罩，年产值可达7亿元。”兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司总经理曾振瑞告诉记者。

记者了解到，由于芯片生产技术长期被国外“卡脖子”，所以中国集成电路企业使用的大部分光罩片都依赖进口。在目前的半导体光罩市场中，国产光罩替代率尚不足20%，市场前景非常广阔。

“现在我们‘兴华芯’拥有高阶光罩工艺核心技术，自主研发生产的光罩片质量已经可以比肩国际大厂产品，光罩实现‘国产替代’已势不可挡。”曾振瑞自豪地说。

目前，在一期满产的同时，“兴华芯”也在紧锣密鼓地进行二期建设。而杭绍临空示范区也积极协调电力部门，开始了两路35千伏电力专线的规划和建设，保障兴华芯这一用电大户二期项目的用电需求。

“待二期项目建成、产能全部释放后，公司总产能可达到每月3000片光罩，年销售额17亿元。”曾振瑞说，“我们将进一步扩大产能、不断提升生产技术，努力发展成国内最大规模的光罩基地之一。”

从“聚链”到“成群” 打造杭绍光电谷

近年来，柯桥依托杭绍临空示范区，做大做强海峡两岸（绍兴）数字产业临空经济园，加快布局集成电路光罩、IDM、光电显示等高精尖项目，致力从“链”到“群”打造光电信息“万亩千亿”新产业平台。

兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司是杭绍临空示范区引进的第一家大型集成电路企业。作为“链主”企业，“兴华芯”在还未建成投产时就充分发挥出了其强大的示范领航和辐射吸附作用，携手带来了“齐力半导体”等近10家芯片封装、模组相关的半导体产业链上下游企业落户杭绍临空示范区，杭绍光电谷也因此实现了从“链”到“群”的提升。

“截至目前，我们杭绍临空示范区共签约引进浙江星柯先进光电显示产业项目、兴华芯半导体光罩产业项目、Chiplet高端封装项目等光电信息产业项目25个，总投资约634.1亿元。下一步，我们将继续发挥临空扁平化运作的体制机制优势，以‘快’的行动引项目、‘好’的服务抓落地、‘实’的举措促发展，全力建设‘杭绍光电谷、临空智创城’。”杭绍临空示范区管委会招商服务局副局长阮鑫耀说。

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全媒体记者丨陈丹梅沈欣/文杨洋/摄

责任编辑丨陆思慧

审核丨贾珣

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