△ 图：项目鸟瞰图
文 / 慧敏 柳璐
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2024年12月24日，由北方特气（浙江）科技有限公司新建的硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期项目展开环评公示。
公示信息显示，该项目总投资281739万元，环保投1635万元，占该总体项目总投资的0.58%。项目建设地点位于浙江省舟山市舟山高新技术产业园区二期，项目用地约388亩。
项目包括五个产品系列：A、有机硅系列、B、单晶晶体、C、硅烷系列、D、同位素系列、E、空分系列。同时，联产氧气、氮气、氩气、 氢气、二氧化碳、氟化钙和三氟化铝等。
各系列产品具体产能为：
A.有机硅系列
B.单晶晶体:50吨/年
C.硅烷气系列：10000吨/年电子级硅烷，1000吨/年电子级四 氯化硅，1000吨/年电子级三氯化硅，500吨/年电子级二氯二氢硅，200吨/年电子级一氯硅烷（一氯硅烷转化为电子级三甲硅基烷胺100吨），50吨/年电子级六氯乙硅烷，10吨/年电子级乙硅烷。
D.同位素：40吨/年产高丰度硼-10（B10 酸），100吨/年高纯硼-11（B-11）电子级特气。
E.空分系列：氧气、氮气、氩气；副产：氢气1763万立方米/年、二氧化碳883万立方米/年。
△ 图：项目奠基仪式
《内蒙古化工》注意到，2024年7月1日，浙江省舟山市高新区举行重点项目集中开工奠基仪式，其中包括北方特气硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目。
公开资料显示，北方特气（浙江）科技有限公司为保定市北方特种气体有限公司的子公司，成立于2024年03月04日，注册地位于浙江省舟山市定海区北蝉乡（综保区）舟山高新技术产业园。
据悉，北方特气项目将改善目前市场上电子级硅烷特气供不应求且长期以来主要依靠从美国、日本、韩国等国家进口的状态。
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