由于将芯片固定在晶圆上的金属叠层厚度大于20μm,因此为了克服将晶圆厚度降低至20μm的技术障碍,英飞凌的工程师们必须建立一种创新而独特的晶圆研磨方法。这极大地影响了薄晶圆背面的处理和加工。此外,与技术和生产相关的挑战,如晶圆翘曲度和晶圆分离,对确保晶圆稳定性和一流稳健性的后端装配工艺也有重大影响。20μm薄晶圆工艺以英飞凌现有的制造技术为基础,确保新技术能够无缝集成到现有的大批量Si生产线中,而不会产生额外的制造复杂性,从而保证尽可能高的产量和供应安全性。
该技术已获得认可,并被应用于英飞凌的集成智能功率级(直流-直流转换器)中,且已交付给首批客户。同时,该技术还拥有与20μm晶圆技术相关的强大专利组合,体现了英飞凌在半导体制造领域的创新领先优势。随着目前超薄晶圆技术的发展,英飞凌预测在未来三到四年内,现有的传统晶圆技术将被用于低压功率转换器的替代技术所取代。这项突破进一步巩固了英飞凌在市场上的独特地位。英飞凌目前拥有全面的产品和技术组合,覆盖了基于Si、SiC和GaN的器件,这些器件是推动低碳化和数字化的关键因素。
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【英飞凌工业半导体】