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扩散工艺参数对方阻影响

学术 2025-02-01 21:35 河南

工艺参数条件对扩散方阻影响

① 工艺时间

主要由沉积时间&驱入时间控制，与方阻大小成反比，时间越长方阻越小，反之，时间越短方阻越大；

② 气体流量

a. 大氮与方阻大小成正比，流量大方阻大；

b. 小氮与方阻大小成反比，流量大方阻小；

c. 氧气与方阻大小成正比，流量大方阻大；

③ 工艺温度

由沉积温度、驱入温度、源温来控制，与方阻大小成反比，温度越高方阻越小，反之，温度越低方阻越大；

END

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