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日本nagase长濑纳米级超精加工机

科技 2024-12-04 17:06 北京

自由曲面、平面、辊、微透镜阵列等的微加工示例。

自由曲面、大面积和超小透镜。

清晰的处理结果。

○自由曲面上的微加工（或创建高级且复杂的自由曲面）

■自由曲面的微小沟槽加工（自由曲面正弦曲线加工）

使用3个线性轴（X、Y、Z）和3个旋转轴（B、C1、C2），

可以直接在刀具表面上加工自由曲面上的各种精细形状。工件材料：化学镀镍磷

■自由曲面的微小沟槽加工（自由曲面光栅加工）

在宽度为 20 mm 的自由曲面（徽标部分）上创建 10,000 个深度为 1 μm、节距为 2 μm 的微小凹槽

。槽距精度在±0.15μm以内。工件材料：化学镀镍磷

○大中型区域的各种微细加工

■适合制造大型光学薄膜、镜片模具等。

我们拥有开发最大加工面积为 φ700 或 1600 x 900 mm 的机器的记录。从大型导光板、反射板、偏光片等光学薄膜到大型透镜模具，我们都能加工。

■1μm方锥加工

微细沟槽加工的精度表现在加工前后、左右的交叉点上。

即使进行 1μm 方锥加工，也能实现锐利的交点。工件材质：NiP镀层

■光学片模具样品（微细V槽加工）

使用 90°V 切削刀具创建 40,125 个深度为 2 μm、节距为 4 μm 的凹槽。刀具传送到工件的结果表明，XZ 轴的插补精度约为 20 nm。

■光学片模具样品（细V槽sin曲线加工）

使用 90°V 切削刀具创建 10,000 个深度为 1 μm、节距为 2 μm 的凹槽。根据刀具传送到工件的结果，XYC 轴的插补精度约为 150 nm。

○超小型透镜加工（φ500μm以下或高深宽、广域微透镜阵列加工）

■最小限度的透镜加工（超小型、高深宽比微透镜加工）

我们利用具有超低振动和恒温控制的独特加工系统，实现了从 φ50μm 到 φ500μm 的极小透镜加工。此外，还可以进行超高深宽比的透镜加工。

■大面积的极小透镜加工（达到A4尺寸）

能够加工大面积的微透镜阵列。记录数量高达 350,000 件。刀具磨损极小，并且可以实现超高质量的加工。表面粗糙度：Ra2.1nm、Rz15.3nm。

特征

我们的目标是“零转录错误”。

最大限度地追求机器精度和重复性。

利用 1.1 纳米分辨率和加工点压倒性的可重复性来控制值的可跟踪性。

以“零传输误差”为目标的终极纳米加工机。X，Y，Z和C1轴采用了多年的纳米机发育，通过多年的纳米机发育进行了彻底完善的非接触式静水压指南。在纳米级命令值的处理点上，在处理点上实现了极好的后续性能和压倒性的可重复性。

2. 兼顾高速进给和高质量加工。

独特开发的超精密直线电机驱动系统。

独特开发的超精密直线电机用于驱动X轴和Y轴执行器。此外，每台机器都能够安装在 Z 轴（上下）（OP）上。X、Y轴进给速度为25m/min，Z轴进给速度为1m/min。在提高各个同步运动精度的同时，能够以比以前更高的速度实现更高质量的加工。

3.六轴联动控制多种加工。

新开发的刀具旋转轴（B，C2）可同时同时进行6轴控制（OP）。实现自由曲面上两个方向的垂直加工，这是传统机床不可能实现的。通过将1纳米分辨率进给的X、Y、Z轴与工件旋转轴C1轴同步，可以对模具表面进行透镜、照明等各种加工。

4. 基于精确结构分析的机械设计。

床、鞍座、桌子、立柱等均具有经过高度计算和经验支持的高刚性结构。设计尽可能融入热对称结构的设计原理，并考虑到长期加工和周围温度环境的变化。

5.超精确的油温和切削液温度管理。

实现以0.001（标准规格）或0.0001（OP）为单位的超精密油温控制。彻底抑制温度变化引起的机械姿态和轴变化。此外，切削液或雾液的温度稳定控制在加工点附近的±0.1℃（标准规格）。此外，我们还能够从 Nanovac 产品 (OP) 中选择并提供与客户想要执行的加工相匹配的加工液。

7. 10年后精度和数值保持不变。

由于采用非接触式引导面，因此即使长期使用，精度的下降也很小。此外，盖环大量使用SUS，因此即使使用多年也能保持美观。

8.我们为您公司的微加工提供全面支持，包括隔振、环境温度、测量和CAD/CAM 。

为了进行高度可重复和高精度的微加工，有必要设计和构建一个“加工系统”来捕获整个加工过程，而不仅仅是一台机器。由此，Nagase 提出了一套包括隔振台、腔室、测量设备和适合微加工的 CAD/CAM 的套件。详情请参阅下面的选项栏。

■加工30nm沟槽时纵轴重复精度为2.7nm

■加工点步进精度10nm

■使用直线轴（X、Y、Z轴）和工件旋转轴（C1轴）进行加工。

C1轴超精密分度重复定位精度为0.189秒。

■由于具有超低振动特性，因此可以安装ZYGO等白色干涉仪，在机器上进行非接触式表面形状测量。

咨询电话：13522079385

选项：

构建独特的处理系统

需要许多技术和想法：

■超精密主动隔振系统“纳米稳定器”

即使在独立基础上，为了消除约 30 至 50 nm 的外部干扰，也可以采用采用三点支撑的伺服加速度反馈控制的主动隔振系统 (OP)。

■超精密环境温度控制系统“Nano Enviror”

为了抑制加工机械本身的变形和工件的热变形，温度以1/100℃或1/1000℃为单位进行控制。我们提供超精密固定型和易于安装的简单型，该型采用广泛的隔热材料以实现 24 小时 23°C ± 0.1°C 的温度。

■超精密刀具形状测量装置“Nano Eye”

以亚微米分辨率测量旋转工具。可以自动测量刀尖位置和直径以及各种类型的刀具跳动测量。测量数据可通过数值输出和视觉输出（OP）进行确认。

■支持非球面加工等的CAD/CAM软件“CAP-nano1”。

我们丰富了加工支持的数值计算软件，最大限度地减少对工人技术技能的依赖。它还与非球面等功能表面兼容，并且可以通过输入功能公式（OP）轻松转换为CAD/CAM程序。

规格：

型号/项目　尺寸　卡盘尺寸　工作台工作区　行程工作台（Y轴）x十字（X轴） X、Y、Z（垂直）　轴最小单位　工件旋转/刀具旋转轴　X轴/Y轴快速移动速度　机器重量

　　毫米　毫米　毫米　纳米　°（度）　米/分钟　吨

尼克　300　φ350　φ350　400×650　1　0.000001　20　11

300α φ350 φ350 500×500 1 0.000001 (0.000002) 20 16

700 φ600 700×700 800x800 1 0.000001 25 16

1408 1400×800 1400×800 1750x1000 1 0.000001 25 30

1509 1500×900 1500×900 1800x1210 1 0.000001 25 33

1609 1650×900 1650×900 1800x1210 1 0.000001 25 34

— End —

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