生产设备正在轰隆隆地运转着，加速制造各系列的干式真空泵；不远处的物流区，员工们正有序地打包准备出厂的产品，确保能够及时交付到客户端……这样忙碌的场景就发生在位于北京经济技术开发区（北京亦庄）的北京通嘉宏瑞科技有限公司（以下简称“通嘉宏瑞”）的制造中心和仓储物流中心。
“进入四季度，公司生产任务重，特别是近期有多款干式真空泵等重要订单需要交付，目前公司内所有生产线处于全面运转状态。”通嘉宏瑞董事长、总经理雷晓宏表示，截至目前，公司在手订单已超过8亿元，完成了第一阶段的公司目标。进入四季度以来，公司新订单不断涌入，预计2024年全年订单可超过10亿元。
生产忙、订单旺，主要还归功于通嘉宏瑞的科技“硬”。
作为一家泛半导体行业的干式真空泵装备及系统技术服务供应商，通嘉宏瑞成功研发并量产了多款干式真空泵，核心零部件全部自研自产，产品整机实现全国产化。“我们不仅实现了国内关键技术首创，还打破了国际垄断局面，破解我国半导体等行业领域关键设备‘卡脖子’难题。”雷晓宏介绍道。
由于半导体工艺中的多个环节需要在洁净真空的环境下进行，促使干式真空泵成为半导体行业的核心附属设备件之一。此前，全球泛半导体用真空泵领域由欧洲、日本企业主导，而国内真空泵以进口为主，国产厂商市场占有率不到5%。通嘉宏瑞自研的干式真空泵，规格全面、种类齐全，抽速120-6000m/h，可满足市场的多样化需求。
通嘉宏瑞GHC系列干泵，采用新型一体爪式结构，拥有宽氮气及温度调节范围、高抗粉尘及腐蚀能力的优势，是针对半导体和液晶市场严苛应用的最新产品，可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，处理粉尘能力极强。GS系列干泵主要应用于高纯净的真空工艺过程，包括光伏等高新技术产业，具有真空度高、运行平稳、噪声低等优点，为未来以低成本实现高工艺提供新方案。GMR系列干泵采用新型一体式罗茨结构，拥有宽氮气及温度调节范围、高抗腐蚀能力、低能耗与低占地面积的优势，主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔。GLR系列干泵采用罗茨结构，拥有低能耗与低占地面积，适合多样化市场，广泛应用于半导体、面板显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业。
“硬科技”为通嘉宏瑞高质量发展提供了强劲动力。立足经开区的优质营商环境和创新产业生态，雷晓宏对公司未来的发展充满信心。
“干式真空泵行业是‘硬科技’行业，对人才的要求和需求都很高。我们希望在经开区的支持下，和更多优秀的高校科研机构对接合作，通过建设人才实践基地、共同培养、产学研合作、技术合作攻关、科技成果转化落地等方式，发掘更多优秀人才，推动公司持续加强核心技术研发，开发出更多新技术新产品。”雷晓宏表示，公司目前已完成多轮融资，估值近40亿元，同时开启IPO（首次公开募股）进程，预计2026年在科创板上市。
“我们希望在泛半导体级干式真空泵行业领域，深入开展技术研发，优化供应链和生产过程管理，精益制造体系模式，打造科技领先、品质卓越的民族品牌，成为国内行业龙头企业、国际知名企业，为北京市、经开区再添一个‘硬科技’上市公司。”雷晓宏说。
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