2024年6月27日,由Guillaume Freychet博士带来的网络讲座——实验室SAXS和GISAXS作为微电子应用的计量工具已结束。您可以扫描下方的二维码获取回放视频。
回放视频
详细内容
- 实验室SAXS 如何用于表征光刻工艺形成的纳米结构并检测缺陷?
- 如何使用逆算法逐步确定线的形状?
- SAXS 分析的主要优势是什么,以及如何在与其他技术并用时探索其协同潜力?
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赛诺普苏州
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