重磅,国产光刻胶新突破

文摘   2024-10-21 01:04   广东  

近日,中国光谷传来振奋人心的消息,光谷企业在半导体专用光刻胶领域取得了重要进展。武汉太紫微光电科技有限公司(简称“太紫微公司”)自主研发的T150 A光刻胶产品,已经成功通过了半导体工艺的量产验证, 标志着我国在半导体光刻胶领域迈出了坚实的一步。


光刻胶,作为半导体制造中的核心材料,其质量和性能直接影响着集成电路的性能、成品率及可靠性。在半导体制造过程中,光刻胶通过光化学反应将掩模上的图案转移到衬底上,形成所需的微细图形。因此,光刻胶的研发和生产对于半导体产业的发展具有至关重要的意义。

太紫微公司此次推出的T150 A光刻胶产品,实现了配方全自主设计,展现出了与国际主流产品相媲美的性能。据悉,T150 A光刻胶对标国际头部企业的主流KrF光刻胶系列,与国外同系列产品UV1610相比,在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到了120nm,且工艺宽容度更大,稳定性更高。同时,T150 A光刻胶在坚膜后烘留膜率方面也表现出色,对后道刻蚀工艺更为友好。经过验证,T150 A中的密集图形经过刻蚀后,下层介质的侧壁垂直度表现优异,这为我国半导体光刻制造领域注入了新的活力。


太紫微公司的成功,离不开其深厚的研发实力和产学研合作模式的优势。公司由华中科技大学武汉光电国家研究中心团队创立,团队成员在电子化学品领域深耕多年,专注于关键光刻胶底层技术的研发。此次T150 A光刻胶的成功突破,正是团队多年技术积累和产学研合作成果的体现。


T150 A光刻胶的成功量产验证,不仅标志着我国在KrF系列光刻胶领域取得了重要进展,还有望减少对进口光刻胶的依赖,提升国内半导体产业的自主可控能力。目前,我国半导体光刻胶国产化率仍处于较低水平,尤其是KrF、ArF光刻胶对外依赖最为严重。因此,T150 A光刻胶的推出,对于推动国产光刻胶的产业化和自主可控具有重要意义。


此外,T150 A光刻胶的成功也为我国半导体产业的发展提供了有力支撑。随着半导体产业的快速发展,光刻胶的需求量也在不断增加。而国内光刻胶产业的崛起,将有效降低半导体制造的成本,提高生产效率,推动我国半导体产业向更高水平发展。


展望未来,我们有理由相信,在更多像武汉太紫微这样的企业的努力下,我国在半导体领域将取得更加辉煌的成就。同时,我们也期待更多的产学研合作模式能够涌现出来,推动科技创新和产业升级,为我国经济的发展注入新的动力。


武汉太紫微光电科技有限公司的T150 A光刻胶产品的成功量产验证,是我国半导体光刻胶领域取得的一项重大技术突破。这一成果不仅提升了我国在半导体材料领域的核心竞争力,更为国产半导体产业链的发展注入了新的活力。我们期待在未来,国产光刻胶能够在全球市场上占据更大的份额,为我国半导体产业的发展贡献更多的力量。

智汇Tech
致力于成为连接科技前沿与大众视野的桥梁。紧跟科技发展的步伐,聚焦人工智能、半导体、物联网、大数据、云计算等前沿科技领域,为读者带来最新的科技资讯。
 最新文章