主动超表面具有轻量化和紧凑的可重构光学特性。在许多其他可重构体系结构中，纳米机电效应是最有效的调优方法之一。已经证明了各种纳米机电实现，但它们通常依赖于导致机械脆弱性的悬浮结构。
近日，加州理工学院Andrei Faraon团队提出并计算研究了一种高纵横比掺杂硅板的衬底设计，该设计可以利用电信波长的槽模式在反射中实现近2π相位响应。在10v内可实现80%的幅度调制和1.4π的相位调制。通过调整电压配置，利用后镜可以实现高达58%的可切换光束转向效率。通过消除后视镜，可以实现高达42%的光束导向效率，并且更容易制造。这项工作为用于振幅和相位调制、波前整形和波束转向的固态纳米机电平台铺平了道路。研究成果以题为“Nanoelectromechanically Tunable Dielectric Metasurfaces for Reconfigurable Wavefront Shaping”发表于《ACS Photonics》上。
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文章信息：
https://doi.org/10.1021/acsphotonics.4c00559
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