一般2寸~6寸的硅晶片会留有flat有助于确定硅晶片的类型和方向,8寸~12寸的硅晶片会留有notch,如下图1示意图所示。或者说低于8寸的晶圆都采用flat,8寸及以上就是notch。当然这些也可以根据客户要求进行更改。
图1 晶圆flat和notch示意图
晶圆的flat可以告诉你两个信息:
①晶圆的掺杂类型n型还是p型
②晶圆的取向
可以看看图2,就大概知道flat所带来的信息。
图2 flat所带来的信息
各种尺寸的硅片flat和notch的主要SEMI标准如下:
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