晶圆为什么要留平边(flat)

文摘   2024-09-05 09:17   西班牙  
晶圆为什么要留平边(flat)



一般2寸~6寸的硅晶片会留有flat有助于确定硅晶片的类型和方向,8寸~12寸的硅晶片会留有notch,如下图1示意图所示。或者说低于8寸的晶圆都采用flat,8寸及以上就是notch。当然这些也可以根据客户要求进行更改。

图1 晶圆flat和notch示意图

晶圆的flat可以告诉你两个信息:

①晶圆的掺杂类型n型还是p型

②晶圆的取向

可以看看图2,就大概知道flat所带来的信息。

图2 flat所带来的信息

各种尺寸的硅片flat和notch的主要SEMI标准如下:




结语


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