2024年9月21日,中微公司发布公告称,公司副总经理、核心技术人员倪图强先生和杨伟先生因个人原因申请辞去公司职务,辞职后二人仍在公司任职。
核心技术人员的“新老交替”?
资料显示,倪图强美国国籍,与公司董事长尹志尧是中国科学技术大学校友,后来拿到美国德州大学博士学位,毕业后层供职于泛林半导体。2004年,倪图强与尹志尧一起回国创业成立了中微公司,是公司的创始人之一。
杨伟美国国籍,西交大硕士毕业后曾在应用材料做了10年,供职软件部资深总监,2004年在中微公司成立之初加入,也是公司的元老级人物之一。
另外,据中微公司招股说明书显示,2019年,公司有6大元老级核心技术人物,倪图强和杨伟均在列,且二人作为公司的技术大拿的同时还分别担任公司副总经理和副总裁职位,可以说身居要职。
值得一提的是,公司6位技术大拿中,除董事长尹志尧外,年龄从大小排列是麦仕义博士(1947年生)、李天笑(1958年生)、杜志游博士(1959年生)、倪图强博士(1962年生)、杨伟(1966年生),倪图强和杨伟应该是核心技术人员中最为年轻的两位。
但在此次公告中,不难发现,公司截至到2024年9月的核心技术人员中除倪图强和杨伟外再无2019年公布的核心技术人员的身影。
资料显示,倪图强颇具研发实力,个人拥有300多项技术专利,同时还是中微公司刻蚀设备产品事业群副总经理,负责高端电介质刻蚀的Primo D-RIE和Primo AD-RIE设备的研发和项目管理。
另外,自2022年以来,中微公司高管减持公告中一直都有倪图强的身影,2022年7月和11月的公告,倪图强分别计划减持30万股、13.5万股,2023年6月公告计划减持9.9万股,2024年5月公告计划减持23.3万股”。
自中微公司上市至今,倪图强合计减持超过50万股,目前还持有76.43万股,持股比例从0.207%下降至0.123%。当然,在这一系列的减持行动中,倪图强并非个例也不突出,包括董事长尹志尧在内的多位公司高管均有不同程度的减持行为。
关于中微公司
中微公司是中国半导体设备领军企业之一。公司全名中微半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2004年,前身是中微有限,由中微亚洲出资设立,为外商独资企业。
后经过股改,引入多方机构投资者,成为中外合资性质企业,其中上海创投、巽鑫投资分别持股15.64%、15.15%,为公司第一和第二大股东,上海创投和巽鑫投资的实际控制人则分别是上海国资委和国家集成电路产业投资基金股份有限公司,但根据中微公司披露,公司暂无实际控制人。
中微公司涉足的半导体设备有等离子刻蚀设备、薄膜沉积设备和光学检测设备,核心产品是等离子刻蚀设备,并在国内市场拿下约14%的市场份额,仅次于北方华创。
公司的拥有四大生产基地,包括上海临港、上海金桥和江西南昌,其中南昌、临港已投入使用,金桥、临港总部正在建设中。
中微公司刻蚀设备有CCP(干法刻蚀设备)和ICP(湿法刻蚀设备)两种,其中CCP布局较早,产品包括PrimoAD-RIE®、Primo SSC AD-RIE®、Primo HD-RIE®等,2024年上半年付运量较 2023年全年增加约3倍。截至2024年6月,公司累计生产付运超过3600个CCP刻蚀反应台。
ICP 刻蚀设备在涵盖逻辑、DRAM、3D NAND、功率和电源管理、以及微电机系统等芯片和器件的 60 多条客户的生产线上量产,ICP单台机Primo Nanova累计安装机台数量在2024年上半年增长约60%,截至2024年6月底,超700个Primo Nanova反应腔在逻辑、DRMA和3DNAND客户产线上运行。
中微公司2021年开始研发薄膜沉积设备,着手开展“接触孔用WCVD设备研发及产业化”项目,2022年首台CVD钨设备交付客户验证。中微公司也在加快用于高顿存储器件的新型号CVD钨和ALD钨产品的开发,目前正处于实验室测试及关键客户对接验证阶段,产业化进程稳步推进。
2024上半年,公司刻蚀设备销售额约为26.98亿元,同比增长56.68%,市场占有率进一步提升。2024年上半年新签订单47亿元,同比大幅增长40.3%。
关于半导体设备
半导体制造分为晶圆制造、芯片制造和芯片封测三大环节涉及二十多道技术工艺,应用的设备包括单晶硅生长炉、清洗设备、光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、涂胶显影设备等多达几十种设备,我们在上期文章《套刻精度≤8纳米,国产光刻技术再获突破!》中总结了目前我国半导体设备整体的国产化率较低,尤其在一些比较核心设备领域中鲜有国产厂商的身影。
而根据维科网产业研究中心发布的《深度独家|2023年中国半导体设备行业竞争力排行榜TOP10》显示,中微公司位居行业第二的位置,随着半导体进入顺周期,半导体设备企业又将迎来一段发展的黄金期。
2023年中国半导体设备TOP10企业竞争力排行榜
资料来源:OFweek维科网产业研究中心 维科网传感器整理
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