兴华芯:数百种集成电路从一片片6英寸光罩开始

民生   2024-11-25 17:28   浙江  

编者按

党的二十届三中全会提出,高质量发展是全面建设社会主义现代化国家的首要任务。民营经济是推进中国式现代化的生力军,是高质量发展的重要基础。民营经济是柯桥发展的“金名片”,是柯桥经济的最大特色和最大优势。全区民营经济暨制造业高质量发展大会指出:柯桥以高质量发展为首要任务的立场将始终如一;支持民营经济和现代制造业优先发展的态度将始终如一;大力弘扬新时代企业家精神的态度将始终如一。为全面贯彻落实全区民营经济暨制造业高质量发展大会精神,大力宣传柯桥企业在高质量发展过程中的好思路、好做法、好经验,并展现他们开拓创新的蓬勃活力,从今天起,柯桥区融媒体中心联合区工商联推出“向新提质·柯商谈”系列报道,通过采访各行业典型企业代表,展现创新在推动柯桥高质量发展过程中的巨大潜力,描摹他们敢为人先、破除障碍、产业引领的创新旅程。


兴华芯:数百种集成电路从一片片6英寸光罩开始
集成电路是新质生产力的典型代表之一,光刻技术是集成电路制造技术的重要组成部分,而光刻光罩是光刻技术中最核心的环节之一,光刻光罩上的图形模式直接影响着芯片的精度和质量。
兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司专注于光罩片自主研发生产。“简单来说,光罩就是把芯片线路设计图刻画下来,做成一个‘几何缩小版’,下游芯片企业再通过光刻工艺,将光罩上的设计图形精确复制到硅片上,从而实现集成电路的制造,所以说光罩就是集成电路从设计到制造的关键第一步。”兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司总经理曾振瑞说。
据曾振瑞介绍,光罩的生产工艺非常复杂:先把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,最后经过脱模、清洗和检验等十几道工序才能制作成光罩片。
“光罩的生产难点主要在它的关键尺寸和其本身的位置,因为光罩生产过程中,最细到纳米级的线条,只要有一点点的偏差或者位置的移动,都会导致整片光罩要重新做过。”曾振瑞告诉记者,经过公司研发团队一年多的努力,目前公司一期已经建设完成,每个月的产能可以达到约1350余片光罩,年产值可达7亿元。

兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司

总经理曾振瑞:创新攻克“卡脖子”技术

当前,发展“新质生产力”正成为我国推动高质量发展的内在要求和重要着力点。作为数字经济、人工智能产业发展不可或缺的硬件基础架构,半导体是“新质生产力”的典型代表之一。半导体掩模版行业属于资本密集型和技术密集型行业,高度依赖专有技术和经验积累,这个技术只有靠平时不断调整工艺,不断尝试调整才能迭代升级。到柯桥后,我们团队一直在致力于光罩核心产品的技术升级,根据市场及客户的需求开展高端半导体掩模版技术工艺的研发,以适应不同市场及客户的需求。从去年年底到今年4月,我们兴华芯研发团队80多人一直自主研发攻克生产工艺难点,4月生产出第一张光罩片,今年9月已正式全面量产。

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全媒体记者丨陈丹梅

责任编辑丨陆思慧

审核丨贾珣

终审丨邵荣英

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