HTCC(High Temperature Co-fired Ceramic,高温共烧陶瓷):属于较早发展的技术,是采用陶瓷与高熔点的W、Mo等金属图案进行共烧获得的多层陶瓷基板。但由于烧结温度较高使其电极材料的选择受限,且制作成本相对昂,促使了LTCC的发展。 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic,低温共烧陶瓷):LTCC技术共烧温度降至约850℃,通过将多个印有金属图案的陶瓷膜片堆叠共烧,实现电路在三维空间布线。 DPC(Direct Plating Copper,直接镀铜):是在陶瓷薄膜工艺加工基础上发展起来的陶瓷电路加工工艺。以陶瓷作为线路的基板,采用溅镀工艺于基板表面复合金属层,并以电镀和光刻工艺形成电路。 DBC(Direct Bonded Copper,直接覆铜):通过热熔式粘合法,在高温下将铜箔直接烧结到Al2O3和AlN陶瓷表面而制成复合基板。 AMB(Active Metal Brazing,活性金属钎焊):AMB是在DBC技术的基础上发展而来的,在 800℃左右的高温下,含有活性元素 Ti、Zr 的 AgCu 焊料在陶瓷和金属的界面润湿并反应,从而实现陶瓷与金属异质键合。
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