1. 单晶硅物理结构
单晶硅,硅的单晶体,由单一的晶体构成,原子排列遵循相同的晶格结构,没有晶界,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,纯度要求达到99.9999%(6N),甚至达到
99.999999999%(11N)以上。
2. 单晶硅物理性质
① 单晶硅
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具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加;
有显著的半导电性。
② 超纯的单晶硅是本征半导体。
③ 在超纯单晶硅中掺入微量的ⅢA族元
素,如硼可提高其导电的程度,而形成P型硅半导体;如掺入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高导电程度,形成N型硅半导体。
3. 单晶硅类型
单晶硅按纯度分类可以分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。
太阳能级多晶硅:纯度一般在6N~9N之间(即99.9999%--99.9999999%,几个9即是几N);
电子级多晶硅:纯度要求则要达到11N,用于半导体等电子元器件生产。
4. 单晶硅工艺生产流程
自然界中天然单晶硅数量极少,且品质很难满足实际的要求,通常利用人工制备的方法获
得高品质的硅单晶。制备硅单晶的方法有很多,如直拉法、区熔法、焰熔法、水热法等,其中区熔法和直拉法是目前最常用的方法。
5. 单晶硅产品
6. 单晶硅生长原理MV版
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